分析計測標準研究部門

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X線・陽電子計測研究グループグループのHP

logo 陽電子プローブグループは、短パルス低速陽電子ビームや高エネルギーイオンビームの発生技術と、それらの高品質ビームを用いて機能性材料の物性に大きな影響を及ぼす原子~ナノレベルの欠陥や空隙等の微視的構造の計測技術の開発を行っています。また、高強度低速陽電子ビームの開発で培った小型電子加速器技術を応用し、非破壊検査のための超小型高エネルギーX線源の開発も行っています。

グループの研究課題

図1

1 陽電子マイクロプローブアナライザー

低速陽電子ビームの発生・制御技術の開発

 当グループでは、電子加速器で発生した高強度低速陽電子ビームをマイクロビーム化・短パルス化し、材料中の原子空孔等の欠陥分布を陽電子寿命によって3次元的に調べることができる陽電子マイクロプローブマイクロアナライザーの開発に成功しました。また、超伝導加速器を用いた高強度低速陽電子発生技術、陽電子ビームの大気取り出し技術など、高度なビーム制御技術の開発を行っています。

図2

図2 陽電子マイクロビームを用いたイオン注入
シリカガラスの3次元欠陥分布

陽電子ビームを用いた原子~ナノレベル欠陥や空隙等の計測

陽電子ビームを用いて金属、半導体、高分子等の高機能材料の原子~ナノレベルの欠陥の計測・評価研究を行っています。特に、当グループの装置は、表面からマイクロメートルオーダーまでの深さ及び入射位置を制御しながら陽電子寿命を測定することが可能で、各種デバイスで重要な薄膜や表面近傍の原子レベルの空隙のサイズ・空間分布状態を評価することができます。

図1

図3 単三乾電池駆動X線源とX線透過像

超小型高エネルギーX線源の開発

針葉樹型カーボンナノ構造体を用いて、単三乾電池で駆動でき、ミリ秒オーダーの短パルス高エネルギーX線でX線透過像を撮ることができる非破壊検査用X線源の開発に成功しました。この技術を用いて、現場で使いやすいX線非破壊検査装置の開発を行っています。

グループの構成メンバー

顔写真 所属・役職及び名前 専門分野 メールアドレス、ホームページ、他
グループ長
大島 永康(Nagayasu OSHIMA)
  メールアドレスnagayasu-oshima[アット]aist.go.jp
主任研究員
大平 俊行(Toshiyuki OHDAIRA)
  メールアドレスtoshiyuki-ohdaira[アット]aist.go.jp
主任研究員
O'Rourke Eugene Brian
  メールアドレスbrian-orourke[アット]aist.go.jp
主任研究員
木野 幸一(Kouichi KINO)
  メールアドレスkoichi.kino[アット]aist.go.jp
主任研究員
加藤 英俊(Hidetoshi KATO)
  メールアドレスkatou-h[アット]aist.go.jp
研究員
満汐 孝治(Kouji MICHISHIO)
  メールアドレスkoji.michishio[アット]aist.go.jp

([アット]を@にして送信してください)


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