分析計測標準研究部門

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応用ナノ計測研究グループグループのHP

私たちの生きる21世紀の現代社会は、多様な機能性素子を要素として構築した大規模システムがその基盤となっています。これら機能性素子を構成するのは、表面・界面・薄膜に代表されるナノ材料です。当グループでは、光やイオン等をプローブとしたナノ材料やその作製プロセス等の計測・分析・評価技術の研究開発を進めています。また、これら技術の応用による新たな知見の解明や、技術の普及に不可欠な標準化の推進も行なっています。

グループの研究課題

図2
図1

ナノ材料(表面・界面・薄膜)の質量分析技術の研究開発

レーザー光やイオンビームを用いた質量分析技術や質量分析を用いた有機系分子の構造解析技術の研究開発とその応用を進めます。

・レーザー光による光イオン化を用いた質量分析

・クラスターイオンビームを用いた二次イオン質量分析

・質量分析を用いた有機系分子の構造解析

図1
図2

ナノ材料作製プロセスの計測・解析・評価技術の研究開発

ナノ材料作製プロセス中での気相の巨視的・微視的状態に関する計測・解析・評価技術の研究開発とその応用を進めます。

・酸化等のナノ材料プロセス過程での反応中間体の検出と追跡

・水晶振動子を用いたナノ材料プロセス環境の分圧計測

図1
図3 スペクトル強度干渉断層イメージング法
(量子OCTとスペクトル領域OCTを融合)

生体・環境の診断・モニタリング技術の研究開発

光の干渉を用いた断層イメージング技術や赤外線を用いたカラー暗視撮影技術の研究開発とその応用を進めます。

・光の干渉と光波面の制御による断層イメージング
・赤外線の分光特性を利用した画像処理技術と暗視カメラへの応用

グループの構成メンバー

顔写真 所属・役職及び名前 専門分野 メールアドレス、ホームページ、他
藤原
グループ長
藤原 幸雄
(FUJIWARA,Yukio )
クラスターイオンを用いた二次イオン質量分析 メールアドレスyukio-fujiwara[アット]aist.go.jp
中村
上級主任研究員
中村 健
(NAKAMURA,Ken )
半導体表面化学、表面・界面分析 メールアドレスken.nakamura[アット]aist.go.jp
ホームページURLHP
白井
上級主任研究員
白井 智宏
(SHIRAI,Tomohiro )
物理光学、生体医用光学
メールアドレスt.shirai[アット]aist.go.jp
ホームページURLHP
上級主任研究員
平田 浩一
(HIRATA,Kouichi )
  メールアドレスk.hirata[アット]aist.go.jp
永井
主任研究員
永井 秀和
(NAGAI,Hidekazu)
光化学 メールアドレスnagai-hidekazu[アット]aist.go.jp
主任研究員
鈴木 淳
(SUZUKI,Atsushi )
気相・プラズマ診断
真空紫外光によるスパッタ粒子検出
メールアドレスa-suzuki[アット]aist.go.jp
ホームページURLHP
浅川
主任研究員
浅川 大樹
(ASAKAWA,Daiki )
質量分析におけるイオン化、及びフラグメンテーション メールアドレスd.asakawa[アット]aist.go.jp

([アット]を@にして送信してください)


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