真直度

図１　超高精度形状測定装置

「平面度」は重要な幾何学偏差量の一つであり、近年、フォトマスクやシリコンウエハ、液晶基板、光学素子、工業用平面基準器（オプティカルフラット）など様々な場面で高精度な平面が要求されています。産業技術総合研究所では、独自技術の大型フィゾー干渉計を開発し、平面度の絶対校正を行っています。

近年、高精度化、大口径化への要求が高まっており、フィゾー干渉計による測定法は、参照面の精度による制限や大口径化に伴う参照面の重力変形により限界がありました。そのため、傾斜角測定に基づく形状測定機を開発し、真直度として校正を開始しました。

校正範囲：50 mm以上1050 mm以下まで、形状測定機によるライン形状の校正

拡張不確かさ（k=2）	条件・備考	認定
5.0 nm

形状測定機による一次元形状の校正技術については、プレスリリース「極めて平坦な平面ガラス基板を開発」、「大口径で高精度な平面形状測定装置の開発」をご参照下さい。