産業技術総合研究所では、安定環境下で長距離測定が行える光学トンネル（図１）で、 干渉測長器の校正を行っています。干渉測長器の校正は、96 m直線ステージを用いた、 参照標準の干渉測長器との比較測定で行います。
ホームへ戻る
ページの先頭に戻る
長さ標準供給
