産総研における長さ計測技術に関する研究テーマ及び研究成果をご紹介します。
研究成果
論文
[2024年]- Yohan Kondo, Akiko Hirai, Toshiharu Katsube, Natsumi Kawashima, and Youichi Bitou, "Two-point diameter calibration of a sphere by a micro-coordinate measuring machine using a silicon gauge block as a reference standard," Precision Engineering, 92, 167 (2025).
- Natsumi Kawashima, Yohan Kondo, Akiko Hirai, and Youichi Bitou, "Novel analysis of alignment error on spherical Fizeau interferometer and uncertainty evaluation of sphericity calibration system based on random ball test," Optics and Lasers in Engineering, 184, 108646 (2025).
- Yasuaki Hori and Satoshi Gonda, "Error investigation for SI traceable pitch calibration of one-dimensional grating by grazing-incidence small-angle X-ray scattering," Measurement, 225, 114036 (2024).
解説・著書等
[2025年]- 川嶋なつみ、近藤余範、平井亜紀子、尾藤洋一、“自由曲面形状測定技術の高精度化に向けた基準球の直径及び表面形状校正,” JEMIC計測サークルニュース, Vol. 54, No. 2, pp. 1-8, 2025年4月.
- 堀泰明、"レーザー干渉計高度化"、日刊工業新聞、技術で未来拓く −産総研の挑戦−、2025年3月13日.
- 近藤余範、平井亜紀子、川嶋なつみ、尾藤洋一、"世界最高レベルの精度で球の直径測定を実現 −自由曲面レンズの形状測定の精度を１桁向上−"、産総研プレスリリース、2024年12月16日.
- 川嶋なつみ、平井亜紀子、近藤余範、尾藤洋一、"基準球面レンズの表面形状を高精度に校正 −高精度な光学素子の開発、製品の品質管理の高度化に貢献−"、産総研プレスリリース、2024年11月28日.
- 川嶋なつみ、"自由曲面形状測定技術とその標準確立に関する調査研究" 計測と制御、63巻、8号、499-507ページ（2004年）.
- 平井亜紀子、「"いろいろ"な光」、毎日小学生新聞, 2022年11月1日
- 平井亜紀子、"長さ標準の最近の動向について," JEMIC計測サークルニュース, Vol. 51, No. 4, pp.1-8, 2022年10月
学会発表
[2025年]- 近藤余範、川嶋なつみ、平井亜紀子、尾藤洋一、"マイクロCMMを用いた球の平均直径測定"、 2025年度精密工学会春季大会学術講演会、2025年3月.
- 増田秀征、近藤余範、平井亜紀子、尾藤洋一、"自己校正型ロータリエンコーダを用いた 局所角度分布に基づく自由曲面形状計測−装置開発と基礎検証−"、2025年度精密工学会春季大会学術講演会、2025年3月.
- 川嶋なつみ、近藤余範、平井亜紀子、尾藤洋一、"球面フィゾー干渉計における ミスアライメントによる測定誤差の解析"、2024年度精密工学会秋季大会学術講演会、2024年9月.
- 武井良憲、近藤余範、平井亜紀子、吉田肇、梶川宏明、尾藤洋一、"ピストン・シリンダの 円筒形状計測による圧力標準の高度化への取り組み（第3報）―超精密三次元座標測定機を用いた ブロックゲージにトレーサブルな円筒直径計測−"、2024年度精密工学会秋季大会学術講演会、2024年9月.
- Shusei Masuda, Yohan Kondo, Akiko Hirai, Youichi Bitou, "Scanning deflectometric profiler based on self-calibrationg rotary encoder", IMEKO 2024 XXIV World Congress, August 2024.
- 近藤 余範、川嶋 なつみ、平井 亜紀子、尾藤 洋一，"マイクロCMMを用いた球直径測定に関する研究― ブロックゲージ表面粗さの影響について―," 2023年度精密工学会誌春季大会学術講演会、2024年2月.
- 堀泰明、"ダブルパスホモダイン干渉計の数pm周期誤差の実現とその定量的評価"、光計測シンポジウム2023、2023年9月
- 近藤 余範、川嶋 なつみ、平井 亜紀子、尾藤 洋一，"マイクロCMMを用いた球直径測定に関する研究― T型先鋭スタイラスの開発―," 2022年度精密工学会誌秋季大会学術講演会、2023年9月.
講演等
[2024年]- Akiko Hirai and Youichi Bitou, "Double-sided Interferometer for SI-traceable Thickness Measurement", CLEO Pacific Rim, August 2024.
- Akiko Hirai and Youichi Bitou, "Double-sided interferometer for precise thickness measurements", Optical Technology and Measurement for Industrial Applications (OPTM), Optics and Photonics International Congress (OPIC) 2024, April 2024.
- 平井亜紀子、"１メートルってどう決まっている？," 国際計測連合（IMEKO）第23回世界大会市民公開講座、2021年8月
- Akiko Hirai, "Precise measurement of the thickness of silicon wafers and bilateral comparison," PRESM2020, November, 2020.