球面度
「球面度」は重要な幾何学偏差量の一つであり、近年、球面・非球面レンズ測定のための原器、 紫外〜X線波長領域での露光装置コリメータレンズ、 自由曲面測定のためのマイクロCMMのプローブ基準面など、 様々な場面で高開口数（NA）、高精度な球面原器が要求されています。産業技術総合研究所では、 二球面比較三位置法と呼ばれる原理を用いて球面度の絶対校正を行っています。
校正範囲：球面度10µm以下
| 拡張不確かさ（k=2） | 条件・備考 | 認定 |
|---|---|---|
| 5.8 nm | 曲率半径10 mm〜298 mm の凹球面 または曲率半径5 mm〜40 mm の凸球面、 開口数0.66 以下、口径100mm 以下 |
校正技術
図１ 二球面比較三位置法
球面度の校正技術は、HeNeレーザー633 nm波長の光を光源として、 位相シフト測定法を備えた球面フィゾー干渉計を用います。 あらかじめ絶対測定で表面形状が判っている産総研所有の球面原器との比較測定から算出するか、 または、二つの球面を用いた三種類の配置（CatsEye位置、および共焦点位置１，２） で観察される干渉縞位相分布から算出する二球面比較三位置法による絶対測定のいずれかを採用しています。 理想的球面形状からの偏差量をPV値で測定します。