段差高さ
K級未満のブロックゲージの校正には、接触式の比較測定機が広く利用されています。これは、 校正済みのブロックゲージを標準とし、被校正ブロックゲージとの長さの差を高感度比較測長器で測定するものです。 一般には、標準ブロックゲージと被校正ブロックゲージの呼び寸法は同じものを用意し、 わずかな長さの差を測定します。
このような高感度比較測長器の校正を行うために、段差高さの基準を使用します。 産業技術総合研究所では、ブロックゲージ対の長さの差で実現された段差高さ、 一体型の段差高さゲージの校正を行っています。
ブロックゲージ対（呼び寸法の差が-10 µm〜10 µm）
| 拡張不確かさ（k=2） | 条件・備考 | 認定 |
|---|---|---|
| 標準ブロックゲージの呼び寸法が1 mmで24 nm 50 mmで25 nm 100 mmで28 nm |
呼び寸法0.5 mm 以上100 mm 以下の熱膨張係数が同じブロックゲージ対。 材質：スチール、セラミックス |
段差高さゲージ（-10 mm〜10 mm）
| 拡張不確かさ（k=2） | 条件・備考 | 認定 |
|---|---|---|
| 8 nm |