産総研プレスリリース

発表・掲載日	2020年2月5日
タイトル	大口径で高精度な平面形状測定装置の開発 －Φ600 mm基板の平面度を5 nmの絶対精度で測定を実現－
成果元	長さ標準研究グループ
備考	・日刊産業新聞 2020年02月17日 朝刊 13面 産総研　大口径ウエハーに対応　高精度の平面度測定装置 ・鉄鋼新聞 2020年02月07日 朝刊 7面 大口径平面基板を高精度測定する装置　産総研が開発 ・OPTRONICS ONLINE 2020年02月06日 大口径で高精度な平面形状測定装置開発

発表・掲載日	2019年9月12日
タイトル	自然界で最小の励起エネルギーをもつ原子核状態の人工的生成に成功
成果元	幾何標準研究グループ

発表・掲載日	2019年7月1日
タイトル	レーザ干渉計を用いた衝撃加速度校正技術
成果元	強度振動標準研究グループ
掲載元	NMIJ研究トピックス

発表・掲載日	2018年9月4日
タイトル	シリコンウエハーの厚さを高精度に測定 －　長さの国家標準にトレーサブルな厚さ測定用両面干渉計を開発（半導体製造工程の高精度品質管理に貢献）　－
成果元	ナノスケール標準研究グループ、長さ標準研究グループ
備考	・日刊工業新聞掲載（2018年9月5日付、21面）　電子版は こちら ・OPTRONICS ONLINE、2018年9月5日付 ・電波新聞掲載（2018年9月7日付、11面） ・鉄鋼新聞掲載（2018年9月7日付、5面）

発表・掲載日	2018年7月2日
タイトル	信頼性の高い高真空・超高真空計測が支える科学と産業のイノベーション
成果元	圧力真空標準研究グループ
掲載元	NMIJ研究トピックス

発表・掲載日	2017年11月5日
タイトル	「ピックアップビデオ：日本国キログラム原器紹介」
成果元	質量標準研究グループ
備考	日本国キログラム原器紹介（4分14秒） 貫原器紹介（1分33秒）

発表・掲載日	2017年10月24日
タイトル	質量の単位「キログラム」の新たな基準となるプランク定数の決定に貢献
成果元	質量標準研究グループ

発表・掲載日	2017年7月3日
タイトル	電磁力による微小トルク計測技術の開発
成果元	力トルク標準研究グループ
掲載元	NMIJ研究トピックス

発表・掲載日	2017年3月31日
タイトル	測定に必要な時間を短縮する新たなガス・水蒸気透過率測定装置を開発
成果元	株式会社MORESCO、ナノ材料研究部門、圧力真空標準研究グループ

発表・掲載日	2016年12月12日
タイトル	「液体流量標準研究グループとの共同研究により 株式会社小野測器が石油流量のJCSS校正範囲を拡張」
成果元	液体流量標準研究グループ

　　　　　　　　　

発表・掲載日	2016年 9月　6日
タイトル	「自動車業界との連携による国際標準規格　ISO 16063-17の発行」 －衝突安全性に資するひずみゲージ式加速度計の評価手法を確立－
成果元	強度振動標準研究グループ

　　　　　　　　　

発表・掲載日	2016年 3月 3日
タイトル	「世界最高水準の標準ガスバリアフィルムを開発」 －有機ELの長寿命化への貢献に期待－
成果元	圧力真空標準研究グループ

発表・掲載日	2014年11月10日
タイトル	「目盛り誤差1ナノメートル以下のリニアエンコーダーを実現」 －半導体素子や光学素子の加工精度の向上に貢献－
成果元	ナノスケール標準研究グループ

発表・掲載日	2014年07月24日
タイトル	「極めて平坦な平面ガラス基板を開発」 －超高精度な平面研磨・評価技術を実現－
成果元	長さ標準研究グループ

発表・掲載日	2014年04月23日
タイトル	「超高精度、超高分解能のロータリーエンコーダー」 －ロボットや工作機械の角度制御能力を格段に向上－
成果元	幾何標準研究グループ