工学計測標準研究部門

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  • ブロックゲージ干渉計

  • 標準尺校正用干渉計

  • 光学トンネル

  • 平面度干渉計

  • 局部角度測定式真直度測定装置

現在、長さの単位「メートル」は、光の速度で定義されています。 この定義を実現した長さの国家標準と産業界で用いられる長さの基準器や長さ測定器を精密に繋ぐ (トレーサビリティ)ために、 光の干渉が利用されています。長さ標準研究グループでは、 光干渉を用いた計測法を中心としつつ、機械的な測定法や角度を利用した計測法も取り入れ、 産業界からの要望に応えられる標準・計測技術の開発に取り組んでいます。具体的な標準供給としては、端度器(ブロックゲージ)、線度器(標準尺)、光波距離計、 干渉測長機、ミクロデジタルスケール、段差高さ、屈折率、平面度、内径・外径、 に関して校正サービスを実施しており、供給範囲としてはナノメートルから100メートル以上の広い範囲をカバーしております。

研究テーマ

  1. ブロックゲージ干渉計を利用して、様々な低熱膨張材料の精密な経年変化(寸法変化)の評価を実施しています。

  2. 局部角度測定を利用した大口径(600mm以上)かつ超精密(精度10 nm以下)な平面度測定装置の開発を進めています。

  3. マイクロCMM等に必要とされる超高精度基準球の校正技術(直径、球面度)の研究に取り組んでいます。

連絡先

グループリーダ:

E-mail: <at> aist.go.jp