グリーン半導体プロセス研究チーム研究チームについて
半導体技術をグリーンサステナブルに。
情報通信インフラの使用に際して排出されるCO2は年々増加し、半導体などのハードウエアの動作に使われるエネルギーだけでなく、製造に係る排出の割合が大きくなっています。そのため、2050年カーボンニュートラル社会時実現に向けて、半導体製造をよりグリーンでサステナブルなものへ転換していくことが求められており、当チームでは、半導体製造のグリーン化の指標Green Manufacturing Metrics (GMM)と、環境負荷を低減する半導体プロセス・材料技術を開発しています。半導体の性能はそのままに温室効果ガス排出を抑えた材料・プロセスの開発、半導体を極低消費電力動作するための新材料開発を、GMMで評価・フィードバックしながら実施しています。
