１．超伝導エネルギー分散分光検出器を搭載した走査型電子顕微鏡

　２．100 ppm以下の微量元素を検出可能

　３．特定元素については化学状態分析も可能

　４．WDSのエネルギー分解能でSDD並の検出効率を実現、省エネ半導体中のドーバントや酸化物、
　　　磁性体中に含まれる各元素の3次元的なナノメータースケールの分布状況を高いスループットで評価

（競合：米Star Cryoelectronics).　

　

　・蛍光X線エネルギー範囲：100eV-2keV

　・エネルギー分解能：〜7 eV@400 eV X-ray

　・計数率：〜1Mcps 　　

　・走査型電子顕微鏡：HITACHI　S-4500

　・加速器電圧範囲：500V-30kV

　・最大サンプルサイズ：1インチ

　・電子ビームサイズ（最適値）：1.5nm at 15kV,
　　　　　　　　　　　　　　　　4.0nm at 1kV

　・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能

 

G.Fujii et al.,X-ray spec .To be published