超伝導蛍光収量Ｘ線吸収微細構造分析装置(SC-XAFS)
〜微量軽元素周辺の原子スケール構造解析を実現〜
特徴
１．超伝導エネルギー分散分光検出器を搭載した蛍光収量XAFS装置
２．母材中の微量軽元素からのXAFS測定が可能
３．XAFSスペクトルから、省エネ半導体ドーパント、酸化物、磁性体などの原子配位や電子状態を評価
（競合：米Advanced Light Source）
仕様
・蛍光Ｘ線エネルギー分解能 ： 10 eV
・エネルギー範囲 ： 70 eV-5000 eV(<1 keV:超伝導､> 2 keV:
半導体)
・アレイ検出器素子数 ：100
・光子計数率 ： 1 Mcps
・冷却 ： 液体ヘリウムを使用せず機械式冷凍機による自動
冷却（0.3 K)
M. Ohkubo et al., Scientific Reports, 2, 831 DOI: 10.1038/srep00831 (2012)
