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装置詳細

超伝導蛍光収量X線吸収微細構造分析装置(SC-XAFS)

〜微量軽元素周辺の原子スケール構造解析を実現〜

特徴

 1.超伝導エネルギー分散分光検出器を搭載した蛍光収量XAFS装置

 2.母材中の微量軽元素からのXAFS測定が可能

 3.XAFSスペクトルから、省エネ半導体ドーパント、酸化物、磁性体などの原子配位や電子状態を評価

   (競合:米Advanced Light Source)

仕様

・蛍光X線エネルギー分解能 : 10 eV

・エネルギー範囲 : 70eV-5000eV(<1keV:超伝導、> 2keV:
 半導体)

・アレイ検出器素子数 :100

・光子計数率 : 0.5 Mcps

・冷却 : 液体ヘリウムを使用せず機械式冷凍機による自動
 冷却(0.3K)

M. Ohkubo et al., Scientific Reports, 2, 831
DOI: 10.1038/srep00831 (2012)

 

支援例

 省エネ半導体であるSiC中窒素ドーパントの格子位置をはじめて決定した。

図1.NドープSiC(300 ppm)のXANESスペクトル

 

図2.第一原理計算結果とNの置換位置Nは
Cサイトのみに入っている


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