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装置詳細

表面プローブ顕微鏡(RSPM)

〜実デバイス・材料の試料表面処理と環境対応SPM計測〜

特徴

SPMに特化した試料表面処理を行う設備を有し、実デバイス・材料のナノ物性を真空中や液中対応のSPM装置。特に、粘性の高い(>10 Pa·s)溶媒中での形状や機械特性、真空中でのパルス応答特性の計測等に対応し、標準試料を利用した再現性の高い計測が可能である

 ○環境・電気測定対応表面プローブ顕微鏡

 ○溶液測定・摩擦力測定機構有り

 ○探針の摩擦力影響(画像歪)の無い形状測定

仕様

  • JEOL社製JSPM5400
    ●AFM探針形状評価によるイメージ補正
    ●試料サイズ10mm角以内。(ウエハー測定は対応可能)
    ●真空対応
    ●電気測定も限定的に可能。
    ●画像解析ソフトウエア
  • SII社E-SWEEP/S-Image
    ●大気・真空(〜10-2 Pa)下測定可能
    ●湿度制御可能
    ●振幅制御モード可能
    ●電気測定も限定的に可能。
  • 産総研自主開発 超真空トンネル顕微鏡/原子間力顕微鏡
    ●イオンスパッター、原子状水素による表面処理可能
    ●電子ビーム加熱、液体窒素冷却可能
    ●表面オージェ電子分光可能
    ●表面吸着分子の質量分析可能。

支援例

 (1) 微粒子の形態・付着力                           (2) パルス電気応答計測(〜50 nS)

 

図1.微粒子の粒径分布と基板との付着力を
測定した例(探針径を補正)


図2.記憶材料の書込み特性をAFMプローブを利用して計測

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