リアル表面プローブ顕微鏡（RSPM）
〜実デバイス・材料の試料表面処理と環境対応SPM計測〜
特徴
SPMに特化した試料表面処理を行う設備を有し、実デバイス・材料のナノ物性を真空中や液中対応のSPM装置。特に、粘性の高い（>10 Pa·s）溶媒中での形状や機械特性、真空中でのパルス応答特性の計測等に対応し、標準試料を利用した再現性の高い計測が可能である
○環境・電気測定対応表面プローブ顕微鏡
○溶液測定・摩擦力測定機構有り
○探針の摩擦力影響（画像歪）の無い形状測定
仕様
- JEOL社製JSPM5400
●AFM探針形状評価によるイメージ補正
●試料サイズ10mm角以内。（ウエハー測定は対応可能）
●真空対応
●電気測定も限定的に可能。
●画像解析ソフトウエア - SII社E-SWEEP/S-Image
●大気・真空（〜10-2 Pa）下測定可能
●湿度制御可能
●振幅制御モード可能
●電気測定も限定的に可能。 - 産総研自主開発 超真空トンネル顕微鏡/原子間力顕微鏡
●イオンスパッター、原子状水素による表面処理可能
●電子ビーム加熱、液体窒素冷却試料台
●表面オージェ電子分光可能
●表面吸着分子の質量分析可能。
