ANCF

装置詳細

（この動画の情報は、2019年撮影当時のものです。）

～微量軽元素のマッピングを実現～

　１．超伝導エネルギー分散分光検出器を搭載した走査型電子顕微鏡

　２．100 ppm以下の微量元素を検出可能

　３．特定元素については化学状態分析も可能

　４．WDSのエネルギー分解能でSDD並の検出効率を実現、省エネ半導体中のドーバントや酸化物、
　　　磁性体中に含まれる各元素の3次元的なナノメータースケールの分布状況を高いスループットで評価

（競合：米Star Cryoelectronics).　

　・蛍光X線エネルギー範囲：40 eV-4 keV（超伝導）、

　 200 eV-20 keV（半導体）

　・エネルギー分解能：～7 eV@400 eV X-ray （超伝導）、

　＜56 eV@C-Ka（半導体）

　・計数率：200 kcps

　・走査型電子顕微鏡：JEOL JSM-IT800SHLs

　・加速器電圧範囲：10 V-30 kV

　・最大サンプルサイズ：Φ100 ㎜、Φ10 ㎜（冷却時）

　・2次電子最高空間分解能：0.6 nm程度@15 kV, 1.1 nm程度@1 kV

　・試料最低冷却温度：－190 ℃以下

　・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能

　1keV以下の特性X線を7-14 eVのエネルギー分解能で弁別、析出物の組成分析を実現。

図1.フェライト系耐熱網（9% Cr Steel)の2次電子像

図2.Point1,2で得られた蛍光X線スペクトル

Point1の析出物がN,Oをより多く含む化合物であることがわかる

図3.図2を拡大（450-600eV)

Cr-LlとO-Kaを明瞭に分離している

フッ化リチウムの元素分析[2]

フッ化リチウム（LiF）の単結晶を分析。通常の半導体X線検出器より低エネルギーX線に高い感度をを持つX線検出器
であるため、Li-Ka線を直接測定できる。また、 Li-Ka線の半値幅は約8 eVであった。

　フッ化リチウムのX線スペクトル
　X-ray spectrum for LiF.