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装置詳細

超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡(SC-SEM)

〜微量軽元素のマッピングを実現〜

特徴

 1.超伝導エネルギー分散分光検出器を搭載した走査型電子顕微鏡

 2.100 ppm以下の微量元素を検出可能

 3.特定元素については化学状態分析も可能

 4.WDSのエネルギー分解能でSDD並の検出効率を実現、省エネ半導体中のドーバントや酸化物、
   磁性体中に含まれる各元素の3次元的なナノメータースケールの分布状況を高いスループットで評価

(競合:米Star Cryoelectronics). 

仕様

 

 ・蛍光X線エネルギー範囲:100eV-2keV

 ・エネルギー分解能:〜7 eV@400 eV X-ray

 ・計数率:〜1Mcps   

 ・走査型電子顕微鏡:HITACHI S-4500

 ・加速器電圧範囲:500V-30kV

 ・最大サンプルサイズ:1インチ

 ・電子ビームサイズ(最適値):1.5nm at 15kV,
                4.0nm at 1kV

 ・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能

 

G.Fujii et al.,X-ray spec .To be published

 

 支援例

 1keV以下の特性X線を7-14 eVのエネルギー分解能で弁別、析出物の組成分析を実現。


図1.フェライト系耐熱網(9% Cr Steel)の2次電子像

 

   

図2.Point1,2で得られた蛍光X線スペクトル

Point1の析出物がN,Oをより多く含む化合物であることがわかる

図3.図2を拡大(450-600eV)

Cr-LlとO-Kaを明瞭に分離している

     

フッ化リチウムの元素分析[2]

フッ化リチウム(LiF)の単結晶を分析。通常の半導体X線検出器より低エネルギーX線に高い感度をを持つX線検出器
であるため、Li-Ka線を直接測定できる。また、 Li-Ka線の半値幅は約8 eVであった。

 フッ化リチウムのX線スペクトル
 X-ray spectrum for LiF.


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