極端紫外光光電子分光装置(EUPS)
■バーチャルラボツアー《 YouTube 》はこちらから(この動画の情報は、2019年撮影当時のものです。)
〜最表面原子層の電子状態を見る〜
特徴
1.レーザー生成プラズマを用いて生成したパルスEUV光を試料を照射した際に
放出される光電子のエネルギーを飛行時間法で計測することで、試料最表面
(0.5 nm程度)の電子状態を分析する装置。
2.材料の真空準位、金属性を評価。ごく微量の表面付着分子(一分子レベル)、
極表面での元素拡散、表面電子状態密度の形状(曲がり具合)を評価。
(競合:産総研のみ)
仕様
・励起光波長:4.86 nm
・励起光ビーム径:50 μm 〜100 μm
・光電子エネルギー分解能:〜0.3 eV
・深さ感度(光電子の脱出深さ):
0.5 nm(実測)
・光子フラックス(試料上時間
平均):SR同等
・瞬時キャリア密度:1017/cm3
・EUV光子エネルギー:255.17 eV
・EUVパルス幅:3 nsec
備考:原理、測定例をEUPSのHP(http://staff.aist.go.jp/t-tomie/EUPS)で紹介
支援例
光励起された試料から、光子エネルギーで決まる運動エネルギーの「光電子」と、光電子の非弾性散乱で
できる大量の「二次電子」が試料外に出る。
EUPSの深さ分解能は0.5 nmで、表面に超高感度のため、一分子層の有機物汚染も検出可能。
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測定例:MgOの価電子帯スペクトル |