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圧力真空標準研究グループ

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校正業務

現在，圧力真空標準研究グループで提供している校正サービスの圧力範囲と校正対象は以下の通りです。
申請方法や校正料金などの詳細についてはこちらをご覧ください。 →jcss校正　 →依頼試験

種別	圧力範囲	標準器	校正対象
圧力（液体）	100 MPa 〜 1 GPa	重錘形圧力天びん＋高精度増圧器	高精度圧力計
圧力（液体）	1 MPa 〜 500 MPa	重錘形圧力天びん	重錘形圧力天びん，高精度圧力計
圧力（気体，ゲージ圧力）	5 kPa 〜 100 MPa	重錘形圧力天びん	重錘形圧力天びん (〜7 MPa)， 高精度圧力計
圧力（気体，絶対圧力）	5 kPa 〜 100 MPa	重錘形圧力天びん	重錘形圧力天びん (〜7 MPa)， 高精度圧力計
圧力（気体，絶対圧力）	1 Pa 〜 10 kPa	高精度差圧計	高精度圧力計
圧力（気体，差圧）	1 Pa 〜 10 kPa [ライン圧力：絶対圧力 100 kPa ± 10 kPa]	2台の重錘形圧力天びん または デジタル差圧計	高精度圧力計
中真空	10-4 Pa 〜 2x103 Pa	膨張法	スピニングローター真空計， 隔膜真空計
高真空	10-6 Pa 〜 10-4 Pa	オリフィス法	電離真空計
分圧（N2, Ar, He, H2）	10-6 Pa 〜 10-4 Pa	二段式流量分配法	四極子形質量分析計
リーク	10-10 Pa・m3/s 〜 10-4 Pa・m3/s	定圧流量計	He標準リーク
標準コンダクタンス	1×10-10 m3/s〜2×10-9 m3/s （N2，追加ガスとして H2，He，Ar）	分圧標準装置	標準コンダクタンスエレメント