圧力真空標準研究グループ
その他の情報
旧来用いられてきた単位との換算表
圧力換算表
| Pa | mbar | Torr | kgf/cm2 | psi | atmosphere | 備考 | |
| Pa | 1 | 0.01 | 7.50062x10-3 | 1.01972x10-5 | 1.45038x10-4 | 9.86923x10-6 | 計量法で使用する圧力のSI単位。1 Pa=1 N/m2 |
| mbar | 100 | 1 | 7.50062x10-1 | 1.01972x10-3 | 1.45038x10-2 | 9.86923x10-4 | 1 bar = 105 Pa |
| Torr | 133.322 | 1.33322 | 1 | 1.35951x10-3 | 1.93368x10-2 | 1.31579x10-3 | 1 atm = 760 Torr (第10回 国際度量衡総会、1954年)より計算 |
| kgf/cm2 | 98066.5 | 980.665 | 735.559 | 1 | 14.2233 | 0.967841 | 標準重力加速度 9.80665 m/s2 (第3回 国際度量衡総会、1901年) |
| psi | 6894.76 | 68.9476 | 51.7149 | 7.03070x10-2 | 1 | 6.80460x10-2 | Lb/inch; 1 pond = 0.45359237 kg、1 inch = 0.0254 m |
| atm | 101325 | 1013.25 | 760 | 1.03323 | 14.6959 | 1 | 1 atm = 101325 Pa (第10回 国際度量衡総会、1954年)より計算 |
流量換算表
| Pa m3/s | Torr l/s | atm ｍl/s | sccm | mol/s | molecule /s | 備考 | |
| Pa m3/s | 1 | 7.50062 | 9.86923 | 592.154 | 4.40316x10-4 | 2.65164x1020 | |
| Torr l/s | 0.133322 | 1 | 1.31579 | 78.9474 | 5.87039x10-5 | 3.53523x1019 | |
| atm ml/s | 0.101325 | 0.76 | 1 | 60 | 4.46150x10-5 | 2.68678x1019 | |
| sccm | 1.68875x10-3 | 1.26667x10-2 | 1.66667x10-2 | 1 | 7.43583x10-7 | 4.47796x1017 | standard cubic centimeter per minute 標準状態(0℃, 1atm)での流量 |
| mol/s | 2.27110x103 | 1.70346x104 | 2.24140x104 | 1.34484x106 | 1 | 6.02214x1023 | 0℃の値、ボルツマン定数 1.3806505x10-23、
アボガドロ定数 6.0221415x1023 |
| molecule /s | 3.77125x10-21 | 2.82867x10-20 | 3.72193x10-20 | 2.23316x10-18 | 1.66054x10-24 | 1 |
圧力標準に関連した規格や文書
日本工業規格 (JIS)
- JIS B 7610 重錘形圧力天びん
- JIS B 7616 重錘形圧力天びんの使用方法及び校正方法
- JIS B 7505-1 アネロイド型圧力計−第１部：ブルドン管圧力計
- JIS B 7505-2 アネロイド型圧力計−第２部：取引又は証明用
- JIS B 7547-1 圧力計の特性試験方法及び校正方法−第１部：一般用
- JIS B 7547-2 圧力計の特性試験方法及び校正方法−第２部：高圧気体用
- JIS C 1031 工業プロセス用圧力・差圧伝送器の試験方法
国際勧告 (OIML)
- OIML R 109 Pressure gauges and vacuum gauges with elastic sensing elements (standard instruments)
- OIML R 110 Pressure balances
- OIML R 101 Indicating and recording pressure gauges, vacuum gauges and pressure-vacuum gauges with elastic sensing elements (ordinary instruments)
その他
- （社）日本計量機器工業連合会規格，JMIF 012 デジタル圧力計性能試験方法
- NITE文書，JCT20501 JCSS技術的要求事項適用指針 圧力
- EURAMET Caribration Guides, EURAMET cg-3(Previously EA-4/17) Calibration of Pressure Balances
- EURAMET Caribration Guides, EURAMET cg-17(Previously EA-10/17) Guidelines on the Calibration of Electromechanical Manometers
真空標準関連
JIS-ISO規格対照表（真空）
| 担当TC及びWG | ISO規格番号 | ISO規格名 | 対応JIS規格番号 | JIS規格名 |
|---|---|---|---|---|
| TC 112 | ISO 3529-1:1981 | Vacuum technology -- Vocabulary -- Part 1: General terms | JIS Z 8126-1:1999 | 真空技術―用語―第１部：一般用語 |
| TC 112/ WG 1 | ISO 1608-1:1993 | Vapour vacuum pumps -- Measurement of performance characteristics -- Part 1: Measurement of volume rate of flow (pumping speed) | JIS B 8317-1:1999 | 蒸気噴射真空ポンプ―性能試験方法―第１部：体積流量（排気速度）の測定 |
| ISO 1608-2:1989 | Vapour vacuum pumps -- Measurement of performance characteristics -- Part 2: Measurement of critical backing pressure | JIS B 8317-2:1999 | 蒸気噴射真空ポンプ―性能試験方法―第２部：臨界背圧の測定 | |
| ISO 3529-2:1981 | Vacuum technology -- Vocabulary -- Part 2: Vacuum pumps and related terms | JIS Z 8126-2:1999 | 真空技術―用語―第２部：真空ポンプ及び関連用語 | |
| ISO 5302:2003 （ISO 21360-4:2018へ改正済み） |
Vacuum technology -- Turbomolecular pumps -- Measurement of performance characteristics | JIS B 8328:2009 | 真空技術―ターボ分子ポンプの性能試験方法 | |
| ISO 21360-1:2012 | Vacuum technology -- Standard methods for measuring vacuum-pump performance -- Part 1: General description | JIS B 8329-1:2015 | 真空技術―真空ポンプの性能試験方法―第１部：共通試験方法 | |
| ISO 21360-2:2012 | Vacuum technology -- Standard methods for measuring vacuum-pump performance -- Part 2: Positive displacement vacuum pumps | JIS B 8329-2:2015 | 真空技術―真空ポンプの性能試験方法―第２部：容積移送式真空ポンプの試験方法 | |
| ISO 21360-3:2019 | Vacuum technology -- Standard methods for measuring vacuum pump performance -- Part 3: Specific parameters for mechanical booster vacuum pumps | |||
| ISO 21360-4:2018 | Vacuum technology -- Standard methods for measuring vacuum-pump performance -- Part 4: Turbomolecular vacuum pumps | |||
| ISO 27892:2010 | Vacuum technology -- Turbomolecular pumps -- Measurement of rapid shutdown torque | |||
| TC 112/ WG 2 | ISO 3529-3:2014 | Vacuum technology -- Vocabulary -- Part 3: Total and partial pressure vacuum gauges | JIS Z 8126-3:2018 | 真空技術―用語―第３部：真空計及び関連用語 |
| ISO 3567:2011 | Vacuum gauges -- Calibration by direct comparison with a reference gauge | JIS Z 8750:2009 | 真空計校正方法 | |
| ISO 14291:2012 | Vacuum gauges -- Definitions and specifications for quadrupole mass spectrometers | |||
| ISO 19685:2017 | Vacuum technology -- Vacuum gauges -- Specifications, calibration and measurement uncertainties for Pirani gauges | |||
| ISO 20146:2019 | Vacuum technology -- Vacuum gauges -- Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges | |||
| ISO/TS 20175:2018 | Vacuum technology -- Vacuum gauges -- Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement | |||
| ISO/TS 20177:2018 | Vacuum technology -- Vacuum gauges -- Procedures to measure and report outgassing rates | |||
| ISO 27893:2011 | Vacuum technology -- Vacuum gauges -- Evaluation of the uncertainties of results of calibrations by direct comparison with a reference gauge | |||
| ISO 27894:2009 | Vacuum technology -- Vacuum gauges -- Specifications for hot cathode ionization gauges | JIS Z 8129:2014 | 真空技術―真空計―熱陰極電離真空計の仕様の表記法 | |
| TC 112/ WG 3 | ISO 1609:1986 | Vacuum technology -- Flange dimensions | JIS B 2290:1998 | 真空装置用フランジ |
| ISO 2861:2013 | Vacuum technology -- Dimensions of clamped-type quick-release couplings | JIS B 8365:1988 | 真空装置用クランプ形継手の形状及び寸法 | |
| ISO 3669:2017 | Vacuum technology -- Bakable flanges -- Part 2: Dimensions of knife-edge flanges | |||
| ISO 9803:1993 （ISO 9803-1:2007及びISO 9803-2:2007へ改正済み） |
Vacuum technology -- Pipeline fittings -- Mounting dimensions | JIS B 2293:2000 | 真空配管継手の取付け寸法 | |
| ISO 9803-1:2007 | Vacuum technology -- Mounting dimensions of pipeline fittings -- Part 1: Non knife-edge flange type | |||
| ISO 9803-2:2007 | Vacuum technology -- Mounting dimensions of pipeline fittings -- Part 2: Knife-edge flange type | |||
| ISO 21358:2007 | Vacuum technology -- Right-angle valve -- Dimensions and interfaces for pneumatic actuator | |||
| ISO 27895:2009 | Vacuum technology -- Valves -- Leak test | |||
| TC 112/ WG 6 | ISO 3530:1979 | Vacuum technology -- Mass-spectrometer-type leak-detector calibration | JIS Z 8754:1999 | 真空技術―質量分析計形リークディテクター校正方法 |
| ISO 20484:2017 | Non-destructive testing -- Leak testing -- Vocabulary | |||
| ISO 20485:2017 | Non-destructive testing -- Leak testing -- Tracer gas method | |||
| ISO 20486:2017 | Non-destructive testing -- Leak testing -- Calibration of reference leaks for gases | |||
| 対応ISO規格無し | JIS Z 2300:2009 | 非破壊試験用語 | ||
| JIS Z 2329:2002 | 発泡漏れ試験方法 | |||
| JIS Z 2330:2012 | 非破壊試験―漏れ試験方法の種類及びその選択 | |||
| JIS Z 2331:2006 | ヘリウム漏れ試験方法 | |||
| JIS Z 2332:2012 | 圧力変化による漏れ試験方法 | |||
| JIS Z 2333:2005 | アンモニア漏れ試験方法 | |||
| JIS Z 8207:1999 | 真空装置用図記号 | |||
| JIS Z 8751:1994 | 液柱差を使う真空計による真空度測定方法 | |||
| JIS Z 8752:1989 | 熱陰極及び冷陰極電離真空計による圧力測定方法 | |||
| JIS Z 8753:1989 | 熱伝導真空計による圧力測定方法 | |||
| 日本表面真空学会 | JVIS 003 | 真空装置用ベーカブルフランジの形状・寸法 |