圧力真空標準研究グループ
研究テーマ
- 圧力
- 圧力標準の範囲拡大
- 低圧力（〜1 kPa）
- 気体高圧力（〜100 MPa）
- 変動圧力
- 圧力標準の高度化
- ピストン・シリンダの幾何形状測定による有効断面積の高精度評価
- ピストン・シリンダの材料特性による圧力変形係数の高精度評価
- 圧力計の詳細な特性評価
- 標準供給方法の開発，高度化
- 校正の自動化
- 圧力センサを用いた高精度な校正方法の開発
- 圧力定点の実用化に向けた研究開発
- 真空
- 真空標準の範囲拡大
- 極高真空標準の開発
- 真空計の信頼性評価、安定性の向上
- 隔膜真空計、スピニングローター真空計、電離真空計、分圧真空計など
- 真空圧力の測定における熱遷移の影響
- 電離真空計や分圧真空計の”その場”校正
- 分子流、中間流における気体の流れの研究
- 表面の凹凸、組成の影響
- コンダクタンスや真空容器内の圧力分布の精密計算
- 真空ポンプの排気速度測定のためのドーム形状の評価
- リーク（漏れ）計測の標準化
- 光学式圧力計の開発