センシング情報システム研究グループ

名前 役職等 拠点
菊永 和也
KIKUNAGA Kazuya 		研究グループ長 九州
佐藤 友哉
SATO Tomoya		 研究員
山浦 大地
YAMAURA Daichi		 研究員
市川 卓人
ICHIKAWA Takuto		 研究員
江口 大雅
EGUCHI Taiga		 研究員
計測対象におけるセンシング情報を利益に変える高付加価値化から、その情報を社会実装するためのシステム化まで、 全体を通してセンシング・インフォマティクスの研究開発を行っています。 コアとして光センシング技術と情報技術を用いて、センシング原理、新しい分析・光技術、センサー開発、 機械学習・統計学・画像解析等の情報処理、システム工学を駆使して、社会課題を解決する技術開発を行っています。

目に見えない静電気放電を目視やカメラで可視化する技術

キーワード

静電気放電、発光、セラミックス微粒子

ハイライト

・微粒子の発光材料をセンサーとして活用することで肉眼による静電気の可視化が実現
・自動車などの移動する対象物の静電気放電をカメラでリアルタイムに測定可能
・電子機器や製品を対象とした静電気発生のモニタリングおよび静電気対策を検証可能
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表面電位分布を測定するシステム

キーワード

帯電、電位分布、測定システム

ハイライト

・対象物をスキャンし高い空間分解能で静電気分布を数秒で簡便に測定
・ガラスやフィルムなど絶縁体の静電気を画像として可視化
・静電気分布を把握して、有効な静電気対策と高性能な製品の量産化に貢献
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非破壊かつ実環境下での直接分析を実現する技術

キーワード

光計測、非線形分光、静電気、電界分布

ハイライト

・非線形分光計測をベースとした電界分布イメージング技術の開発
・時々刻々と変化する帯電状態のリアルタイム分析の実現
・固体だけでなく液体との接触・摩擦に伴う帯電評価にも適用可能
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非破壊で内部クラックの評価を実現する技術

キーワード

半導体、非破壊検査、半導体ウェーハ研磨

ハイライト

・光散乱を利用した光計測技術によって内部欠陥を検出
・光計測技術と機械学習の組み合わせで内部クラックの評価を実現
・半導体ウェーハ研磨後の非破壊検査への応用
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薄膜分極ドメインの高速イメージングを実現する技術

キーワード

配向性材料評価、非線形分極計測、高速イメージング

ハイライト

・レーザー(高強度の光電場)を活用した配向性評価技術を提案
・原理となる非線形分極と材料中の極性(配向)の相関を実証
・窒化物圧電薄膜を用いて原理検証、顕微鏡技術と融合して高速イメージングの実現へ
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異種センシングデータを整合させて定量評価できるようにする技術

キーワード

センシングデータ分析、画像解析、AI技術

ハイライト

・特徴抽出技術を軸とした画像解析アルゴリズムで異種センシング技術の比較を実現
・最先端センシングシステムの有効性を実証
・形状特徴抽出ベースの画像分析アルゴリズムで位置合わせ不要な比較を可能に
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