2024年度 計量標準総合センター成果発表会 サテライトイベント
2024年度圧力真空クラブ研究会

工学計測標準研究部門の紹介

圧力真空標準研究グループの紹介

【依頼講演】
電子顕微鏡の電子銃の極高真空化

ナノメートルオーダの微細構造を観察する電子顕微鏡は材料や医療、半導体分野で広く用いられる。その電子線を出す電子銃は極高真空化することで高性能にできる。本発表で研究の概要を紹介する。

【依頼講演】
加速器から生まれた超高真空ゲッターコーティング技術の社会実装

真空壁に気体吸着機能を持たせてゲッターポンプとする非蒸発型ゲッター(NEG)コーティングは加速器から生まれた超高真空技術です。本講演では、NEGコーティングの高度化と産業製品へ活用する取り組みについてご紹介します。

日本の真空標準の過去、現在、未来

日本の真空標準の供給は、1964年度（昭和39年度）に旧通商産業省工業技術院において開始された。その後、計測ニーズの高まりを背景に、2009年に膨張法を中心としたトレーサビリティ体系の構築に移行し、現在に至っている。本発表では、真空標準の過去と現在を振り返り、今後のあるべき姿について議論する。

超高真空排気についての調査研究と今後の計画　～高速排気の実現に向けて～

超高真空への排気では、真空容器壁面からのガス放出に代表されるように、固体表面で進行する化学的現象（吸着・脱離・反応など）が支配的な役割を演じる。本発表では、真空排気における表面現象の重要性を説明した後、今後の研究計画を紹介する。