吉田 肇 (YOSHIDA Hajime)
- 所属
- 工学計測標準研究部門 圧力真空標準研究グループ
- キーワード
- 真空
- 真空計
- 真空ポンプ
- ガスバリア
- 気体透過
- リーク
- 漏れ
- 気体の流れ
- 配管コンダクタンス
- 排気速度
- アウトガス
- 分圧
- ガス放出
- ガス組成
- ガス純度
- 標準化
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計量標準総合センター(NMIJ) 連携推進室
M-nmij-renkei-ml*aist.go.jp (*を@に変更して使用してください。)