菅原 健太郎 （SUGAWARA Kentaro）
- 所属
- 工学計測標準研究部門 幾何標準研究グループ
- キーワード
- 表面性状
- 触針式粗さ計
- 顕微干渉計
- 相変化
- プローブ顕微鏡
- 走査電子顕微鏡
- 原子間力顕微鏡
- 微細加工技術
- 電子線描画
- 段差標準片
- 粗さ標準片
- フォトマスク線幅
- 標準供給
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