木津良祐（KIZU Ryosuke）

所属

物質計測標準研究部門ナノ構造計測標準研究グループ

キーワード

半導体
ナノ構造
精密計測
SIトレーサブル
長さ標準
校正
ピッチ
段差
線幅
表面粗さ
側壁角
側壁粗さ
ラインエッジラフネス（LER）
レジスト評価
原子間力顕微鏡（AFM）
走査電子顕微鏡（SEM）

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計量標準総合センター（NMIJ）　連携推進室
M-nmij-renkei-ml*aist.go.jp （*を@に変更して使用してください。）