平井 亜紀子 (HIRAI Akiko)
- 所属
- 工学計測標準研究部門 長さ標準研究グループ
- キーワード
- 寸法
- 厚さ
- 段差
- 経年変化
- シリコン
- ウエハー
- 計測
- 光計測
- 干渉計測
- 精密計測
- 干渉計
- 標準
- 長さ標準
- トレーサビリティ
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