東 康史 （AZUMA Yasushi）
- 所属
- 物質計測標準研究部門 ナノ材料構造分析研究グループ
- キーワード
- 標準物質
- 膜厚
- 薄膜
- ナノ材料
- 表面界面
- 半導体
- 結晶
- X線回折
- X線反射率
- 国際標準
- 作製評価技術
- 電子デバイス
- シリコン酸化膜
- 表面分析
- X線光電子分光
- エリプソメトリ
- ISO
- JIS
- SiO2
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