更新履歴
2024.9.24
マイクロライン構造を用いた3DX線顕微鏡の倍率校正 (Microscopy誌)(東・熊谷)
2024.7.18
木津がInternational Conference on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM 2024)におきましてYoung Researcher Awardに表彰されました
2025.6.10
HHCFベースのノイズ補正を用いたLER分布測定 (Proc. SPIE)(木津・三隅)
2024.4.8
第53回情報計測オンラインセミナー「半導体微細パターンのラフネス形状計測とノイズを含むデータの解析」(木津)
2024.2.16
XPSによるHfO2超薄膜の正確な厚さ測定に不可欠な基準強度比の実験的決定 (Surface and interface analysis誌)(張・東)
2024.1.31
単細胞藻類 Pseudococcomyxa simplex におけるヘキサクロロ白金(IV)イオンの取り込みと蓄積機構 (Metallomics誌)(共著：熊谷)
2023.10.31
300 kV での透過電子顕微鏡による格子イメージングに使用可能な Si の試料厚さの実験的評価 (Ultramicroscopy誌)(小林・木津)
2023.10.12
メンバーページのリンクを修正しました。
2023.10.2
人事異動によりメンバーを更新しました。
2023.9.13
超低エネルギー走査電子顕微鏡における0 eV付近着地エネルギーでのコントラスト機構 (Microscopy誌)(共著：熊谷)
2023.7.19
自己アフィンフラクタルの粗さ測定におけるホワイトノイズの影響 (Measurement Science and Technology誌)(木津・三隅)
2023.6.7
次世代機能性マイクロ・ナノ構造のためのラインエッジラフネス参照標準の開発フレームワーク (Precision Engineering誌)(木津・三隅)
2023.5.16
傾斜探針型測長AFMによるフォトレジストの収縮観察 (Proc. SPIE)(木津・三隅)
2023.5.1
人事異動によりメンバーを更新しました。
2023.4.3
人事異動によりメンバーを更新しました。
2023.3.17
単細胞藻類内部でテルル酸塩とテルル鉱石を還元して生成したテルルナノロッド (Chemistry Letters誌)(共著：熊谷)
2023.2.14
傾斜探針型原子間力顕微鏡を用いたフォトレジスト3次元側壁測定の高精度化(Journal of Applied Physics誌)(木津・三隅)
2022.11.18
接触式エアリアル表面粗さ測定の技術動向―測長原子間力顕微鏡を用いた事例― (トライボロジスト)(三隅)
2022.11.14
単細胞緑藻類Chlamydomonas reinhardtiiにおける生物起源テルルナノロッドの形成 (Metallomics誌)(共著：熊谷・小林)
2022.11.1
人事異動によりメンバーを更新しました。
2022.10.20
技術で未来拓く 産総研の挑戦（232）パターン側壁の可視化 (日刊工業新聞)(木津)
2022.10.3
人事異動によりメンバーを更新しました。
2022.7.1
人事異動によりメンバーを更新しました。
2022.6.17
木津良祐が公益社団法人精密工学会2022年度精密工学会春季大会学術講演会におきましてベストプレゼンテーション賞に表彰されました。
題目：ラインエッジラフネスが制御されたシリコンラインパターンの作製と評価
2022.5.6
Si試料の格子面間隔変動に及ぼす透過電子顕微鏡法用試料処理の影響 (Ultramicroscopy誌)(小林・三隅)
2022.4.1
人事異動によりメンバーを更新しました。
2022.2.3
認証標準物質 NMIJ CRM 5207-a タングステンドットアレイの活用事例紹介
タングステンドットアレイCRMを用いた共焦点ラマン分光顕微鏡の横分解能の高信頼評価 (Analytical Sciences誌) (伊藤(有機基準物質研究グループ)、羽成(有機組成標準研究グループ))
2021.12.16
ヒト肝細胞癌HepG2細胞における生体性セレン化水銀ナノ粒子の形成メカニズムと毒性学的意義 (Chem. Res. Toxicol.誌)(共著：熊谷・小林)
2021.12.6
半導体リソグラフィ技術評価のためのラインエッジラフネス計測 (NMIJニュースレター第14号 4ページ)(木津・三隅)
2021.11.18
産総研計量標準総合センターにおけるナノ構造計測標準の研究開発の動向(Nanomanufacturing and Metrology誌)(三隅・木津・熊谷・小林)
2021.11.1
人事異動によりメンバーを更新しました。
2021.10.1
人事異動によりメンバーを更新しました。
2021.9.22
測長原子間力顕微鏡を用いたエアリアル表面粗さ測定のための探針検定方法の拡張(Measurement: Sensors誌)(三隅)
2021.9.6
測長原子間力顕微鏡を用いた段差標準の校正(精密工学会誌)(三隅)
2021.9.2
スマートウィンドウアプリケーション向けの発色性アモルファスMoO3–xナノシートとそのナノ構造フィルム(ACS Applied Nano Materials)(共著・熊谷)
2021.9.1
「3Dナノ計測用 傾斜探針型測長原子間力顕微鏡の開発 (Measurement Science and Technology)(木津・三隅)」が、2020年に9回引用され、同誌のインパクトファクタが史上2番目の高さに引き上げられたことへの一助となりました。同誌事務局より質の高い論文投稿への謝意が示されました。
2021.8.23
透過電子顕微鏡による測長技術開発の動向(計測と制御)(小林)
2021.8.2
人事異動によりメンバーを更新しました。
2021.7.1
小林の個人ページを開設しました。
2021.6.30
透過電子顕微鏡によるナノ物質の測長に関する調査研究(産総研計量標準報告)(小林)
2021.5.25
透過電子顕微鏡を用いたサブナノメートル計測における不確かさの実験的評価(Measurement Science and Technology誌)(小林・三隅)
2021.5.21
 |
測長原子間力顕微鏡及び他の計測装置によるナノ構造計測標準(IOP ebooks)(三隅)(IOPより著者ホームページ掲載用に表紙画像が提供されました。) |
2021.4.1
人事異動によりメンバーと研究業績を更新しました。
2021.3.10
傾斜探針型測長原子間力顕微鏡を用いたSEMベースのラインエッジラフネス測定の評価(SPIE Proceedings)(木津・三隅)
2021.1.27
ドットアレイ認証標準物質を用いたSEM像歪評価(Microscopy誌)(熊谷)
2021.1.7
「傾斜探針型測長原子間力顕微鏡を用いた参照計測用の垂直側壁ラインエッジラフネス測定 (J. of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS)(木津・三隅)」が、同誌で2020年に最も多くダウンロードされた論文の一つとなりました。編集委員長より質の高い論文の投稿への謝意が示されました。
2020.11.13
SEMおよび参照計測用傾斜探針型測長原子間力顕微鏡法によるラインエッジラフネス測定の直接比較 (J. of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS)(木津・三隅)
2020.10.16
NMIJ CRM 5207の開発-走査電子顕微鏡の像シャープネス評価のためのタングステンドットアレイ-構造評価とドットピッチの決定(Microscopy誌)(熊谷)
2020.8.24
誘導結合プラズマ質量分析によるニンニク中のテルル生体ナノ粒子の解明(Journal of Trace Elements in Medicine and Biology)(共著：熊谷・小林)
2020.5.13
測長原子間力顕微鏡を用いた表面粗さ測定における探針検定用試料 (Measurement Science and Technology誌)(三隅・木津)
2020.4.20
傾斜探針型測長原子間力顕微鏡を用いた参照計測用の垂直側壁ラインエッジラフネス測定 (J. of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS)(木津・三隅)
2020.4.1
物質計測標準研究部門にナノ構造計測標準研究グループができました。