2024.4.8
第53回情報計測オンラインセミナー「半導体微細パターンのラフネス形状計測とノイズを含むデータの解析」(木津)
2024.1.31
単細胞藻類 Pseudococcomyxa simplex におけるヘキサクロロ白金(IV)イオンの取り込みと蓄積機構 (Metallomics誌)(共著：熊谷)
2023.10.31
300 kV での透過電子顕微鏡による格子イメージングに使用可能な Si の試料厚さの実験的評価 (Ultramicroscopy誌)(小林・木津)
2023.10.12
メンバーページのリンクを修正しました。
2023.10.2
人事異動によりメンバーを更新しました。
2023.9.13
超低エネルギー走査電子顕微鏡における0 eV付近着地エネルギーでのコントラスト機構 (Microscopy誌)(共著：熊谷)
2023.7.19
自己アフィンフラクタルの粗さ測定におけるホワイトノイズの影響 (Measurement Science and Technology誌)(木津・三隅)
2023.6.7
次世代機能性マイクロ・ナノ構造のためのラインエッジラフネス参照標準の開発フレームワーク (Precision Engineering誌)(木津・三隅)
2023.5.16
傾斜探針型測長AFMによるフォトレジストの収縮観察 (Proc. SPIE)(木津・三隅)
2023.5.1
人事異動によりメンバーを更新しました。
お問い合わせの多い段差校正について簡単にまとめました。
| 方式 | 光学式 | AFM方式 | 触針式 |
|---|---|---|---|
| 校正範囲 | 20 nm - 500 nm | 10 nm - 2,500 nm | 500 nm - 10,000 nm |
| 試料サイズ | 25 mm x 25 mm x 7 mm以下 | 20 mm x 20 mm x 4 mm以下 | 市販の粗さ標準片と同程度 |
| 段差パターン幅 | 0.03 mm以上、0.1 mm以下 | 0.033 mm以下 | 市販の粗さ標準片と同程度 |
| パターン配置 | 図のとおり。 測定箇所がわかるようなマーカー等 |
図のとおり。 測定箇所がわかるようなマーカー等 |
図のとおり |
| 材質 | 表面の光学定数が同一であるもの | シリコン基板、ガラス基板など | - |
| 備考 | 工学計測標準研究部門が担当。技術コンサルティング制度による測定レポート。 | 針で試料を破損する可能性あり。 一箇所につき3ヶ月必要 |
工学計測標準研究部門が担当。JCSS校正事業者様で対応できない試料限定。針で試料を破損する可能性あり。 |