計量標準総合センター　物質計測標準研究部門

ナノ構造計測標準研究グループ

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SEMをSIトレーサブルに (NMIJ 認証標準物質 カタログ)

ユニットイメージ画像:〇〇の研究の様子

段差校正・測定

ユニットイメージ画像:〇〇の研究の様子

方式 光学式 AFM方式 触針式
校正範囲 20 nm - 500 nm 10 nm - 2,500 nm 500 nm - 10,000 nm
試料サイズ 25 mm x 25 mm x 7 mm以下 20 mm x 20 mm x 4 mm以下 市販の粗さ標準片と同程度
段差パターン幅 0.03 mm以上、0.1 mm以下 0.033 mm以下 市販の粗さ標準片と同程度
パターン配置 図のとおり。
測定箇所がわかるようなマーカー等		 図のとおり。
測定箇所がわかるようなマーカー等		 図のとおり
材質 表面の光学定数が同一であるもの シリコン基板、ガラス基板など -
備考 工学計測標準研究部門が担当。技術コンサルティング制度による測定レポート。 針で試料を破損する可能性あり。
一箇所につき3ヶ月必要		 工学計測標準研究部門が担当。JCSS校正事業者様で対応できない試料限定。針で試料を破損する可能性あり。

＊製造元での再校正を推奨します