装置紹介

• 成膜
• リソグラフィ・洗浄
• エッチング・平坦化
• 観察・評価・その他

観察・評価・その他

水平方向にスクロールできます。

	装置名称	型番・仕様	備考
	走査電子顕微鏡	日立 Regulus8230
	ナノサーチ顕微鏡	島津製作所 ST-4500
	セミオートデバイス評価装置	FormFactor SUMMIT200
	顕微分光膜厚計	大塚電子 OPTM
	段差計	ケーエルエー・テンコール P-16