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利用方法

Qufabは、産総研にある超伝導デバイス作成のためのクリーンルームです。Qufabファウンドリでは、超伝導回路の設計データから、デバイスを製作します。

利用手続き

  • 01お申し込み
    以下のお問い合わせ先までご連絡ください。
    国立研究開発法人 産業技術総合研究所 超伝導量子回路試作施設事務局
    E-mail: M-Qufab-secretariat-ml at aist.go.jp（送信時はatを@に置き換えてください）
  • 02審査
    お申込み内容について利用条件などとの不一致がないか確認します。
  • 03申込書提出
    審査の結果、受け入れ可能の場合、ユーザーに内諾書を発行します。内諾書を確認のうえ、Qufabに申込書を提出してください。
  • 04回答書・設計仕様書
    回答書と設計仕様書をユーザーに送付します。
  • 05データ提出
    ユーザーは指定された期日までに、Qufabに設計データ（gds形式）を提出してください。
  • 06納品
    Qufabにてデバイスを試作し、試作デバイスとプロセス評価チップを用いたデバイス特性評価報告書を提供します。
  • 07お支払い
    ご利用料金をお支払いください。

問い合わせ先

国立研究開発法人 産業技術総合研究所 超伝導量子回路試作施設事務局
E-mail: M-Qufab-secretariat-ml at aist.go.jp（送信時はatを@に置き換えてください）

Qufabロゴについて

Qufabユーザーは、試作成果を口頭発表やポスター発表で公表する際にQufabロゴを使用することができます。ロゴの使用を希望する者は、当施設事務局から許諾を得ることなくロゴを無償で使用できます。ただし、ロゴの変形、加工、及び改変を禁止します。また商品名、サービス名、商標等の一部として使用することを禁止します。

※画像を右クリックして「名前をつけて画像を保存」でダウンロードしてください。

謝辞について

Qufabで作製したデバイス、回路、試料、及びサンプルを用いて得られた成果を論文等で発表する際には、下記の一文を謝辞に含めてください。ただし、デバイス（devices）、回路（circuits）、及び試料・サンプル（samples）から適切な単語を選択してください。

【和文】

本研究で使用されたデバイス／回路／試料／サンプルは、国立研究開発法人産業技術総合研究所の超伝導量子回路試作施設（Qufab）において作製された。

【英文】

The devices/circuits/samples were fabricated in the Superconducting Quantum Circuit Fabrication Facility (Qufab) in National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST).