装置紹介
成膜
水平方向にスクロールできます。
| 装置名称 | 型番・仕様 | 備考 | |
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クラスター型スパッタ装置 | アルバック SME-200J | |
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Nb-Alジョセフソン接合作製装置 | サイエンスプラス M93-0012 | |
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Nb-Alジョセフソン接合作製装置 | 日本シード研究所 M97-0014 | |
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TEOS-CVD装置 | サムコ PD-270STL-AI | |
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斜め蒸着装置 | PLASSYS | |
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プラズマALD装置 | サムコ AD-230LP | |
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マルチターゲット(六源)スパッタ装置 | エイコーエンジニアリング ES-350 | |
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絶縁膜作製装置 | 日本シード研究所 M98-0021 |