装置紹介
リソグラフィ・洗浄
水平方向にスクロールできます。
| 装置名称 | 型番・仕様 | 備考 | |
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i線ステッパー | キヤノン FPA-3030i5+ | |
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コーター・デベロッパー | 東京エレクトロン ACT8 | |
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セミオートデベロッパー | ソフエンジニアリング SDS-3200M | |
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枚葉式有機洗浄装置A | KSLO-A150CBU | |
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枚葉式有機洗浄装置B | KSLO-A150CBU | |
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ウェハ洗浄装置 | 三益半導体工業 MSC-2000SSK |