装置紹介
エッチング・平坦化
水平方向にスクロールできます。
| 装置名称 | 型番・仕様 | 備考 | |
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CMP装置 | 東京精密 ChaMP | |
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フッ素系ICP型RIE装置 | サムコ RIE-400iP4 | |
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塩素系ICP型RIE装置 | サムコ RIE-400iP3 | |
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ICP型RIE装置 | アルバックCE-300I | |
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平行平板型RIE装置 | サムコ RIE-200L | |
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平行平板型RIE装置 | アルバックCE-300R | |
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平行平板型RIE装置 | サムコ RIE-10NR | |
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イオンミリング装置 | アールエムテック J-500L | |
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アッシング装置 | キヤノン MAS-8220AT |