センシングマテリアル研究グループ

名前 役職等 拠点
藤尾 侑輝
FUJIO Yuki 		研究グループ長 九州
長瀬 智美
NAGASE Toshimi		 主任研究員
志岐 成友
SHIKI Shigetomo		 主任研究員
本村 大成
MOTOMURA Taisei		 主任研究員
笠嶋 悠司
KASASHIMA Yuji		 研究グループ付

主務）先端半導体研究センター　CMOSインテグレーション研究チーム [主任研究員]		 つくば西
平田 研二
HIRATA Kenji		 主務）研究戦略本部企画部　企画室 [企画主幹] つくば中央
製造、半導体、医療、ヘルスケア、CE分野に資する機能性センシング材料について、材料開発、製造法開発、高感度分析、 熱力学・電子状態計算などの研究開発を実施しています。 材料科学の分野だけでなく、化学・工学・医学・情報学などのあらゆる分野との総合力を活かして、 機能性センシング材料のコアの探求と社会実装に真に必要な機能の発現・高機能化を目指し、 エネルギー・環境・資源制約、人口減少・高齢化社会の社会課題解決に資するセンシング技術の開発に貢献します。

力ー光変換材料の創製技術（発光センシング材料の創製）

キーワード

応力発光、応力・ひずみ分布可視化、構造体診断、生体内センシング、微小変位・荷重検知

ハイライト

・応力発光塗膜によるリアルタイムひずみ分布の可視化を実現
・応力発光体の材料創製技術により様々な環境（明環境、生体内など）で構造体の異変を検知可能に
・マイクロピラー３次元微細構造センサ素子の実現により、微小変位・荷重の検知を実現
→詳細

次世代通信を支える材料開発

キーワード

第一原理計算、状態図、薄膜、窒化物、圧電体

ハイライト

・スマートフォンの周波数フィルタに使用される圧電材料の新規開発
・コンピュータシミュレーションを活用して材料開発を効率化
・多数の候補材料の提案や材料の作製条件に指針が得られ、実験による検証が進行中
→詳細

半導体製造プラズマプロセスの生産性向上を実現するセンシング技術

キーワード

半導体製造前工程、プラズマエッチング、プロセスモニタリング、異常検知、予知保全

ハイライト

・半導体製造前工程におけるプラズマプロセスの製造効率改善に資するセンシング技術
・プラズマやプロセス装置の状態監視
・突発的異常やパーティクル（微粒子）のその場検出
→詳細

高密度プラズマ生成技術

キーワード

ヘリコンプラズマ、高密度、低ガス圧力

ハイライト

・ヘリコンプラズマ生成技術を利用し液体ターゲットを用いたスパッタリング成膜を実現
・磁性体ターゲットを用いたスパッタやエッチングプラズマ源としても応用可能
・磁場を用いた高密度プラズマ束の制御によるプラズマプロセスが可能に
→詳細

微量軽元素のナノ構造を分析する技術

キーワード

超伝導検出器、放射光、X線吸収分光、軟X線、軽元素、ナノ構造

ハイライト

・放射光と超伝導検出器を組み合わせ軟X線領域のX線吸収分光を実現
・半導体検出器を超えるエネルギー分解能と結晶／回折格子分光器を超える感度を同時に達成
・産総研ANCF/文科省ARIM事業により広くユーザーに公開
→詳細

簡便なデバイス作製で、ユビキタスなモニタリングを実現する技術

キーワード

フレキシブル圧電デバイス、溶液プロセス、酸化亜鉛(ZnO)、ドライバーモニタリング

ハイライト

・溶液プロセスを用いて、ポリイミド基材上に柔軟性と耐熱性を両立するZnO圧電シートを実現
（ZnO粒子膜の成膜過程における自発的結晶配向性を利用した圧電特性）

・シンプルなセンサ構造で、体動や呼吸速度を検知
⇒着座姿勢検知する将来のドライバーモニタリングへの応用提案
→詳細

back