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ナノ顕微計測研究グループは、次世代産業の中核を担う基盤材料として期待されているナノ材料の開発において、基盤技術となる計測技術の新規開発を行ないます。顕微鏡法や質量分析法において新規要素技術の開発から計測のための試料調整技術、装置校正技術、データ解析手法、国際標準化等の開発を推進して、産業応用を推進します。
研究内容
1. 顕微鏡法や質量分析法において新規要素技術の開発
デュアルプローブ近接場走査顕微鏡やSIMS用クラスターイオン銃、構造解析質量分析技術の開発を行なっています。
2. ナノ材料の安全性評価に関する顕微計測技術の開発
ナノ材料の安全性評価と適性管理のために必要な計測技術の開発を行なっています。
3. ナノ材料計測の国際標準化の推進
ISO/TC201（表面分析）やISO/TC229（ナノテクノロジー）においてナノ材料計測の国際標準化を推進します。