産総研 NMIJ

クラブ長:計量標準総合センター 工学計測標準研究部門 圧力真空標準研究グループ長 梶川宏明


圧力真空クラブについて

・研究会

 圧力、真空、リークの計量・計測技術に関して、会員とNMIJとの技術交流を目的とした研究会を開催します。

・情報発信

 NMIJで整備している圧力、真空、リークの標準及び校正サービスについて紹介します。また、圧力、真空、リークに関する国内標準供給体系の整備、標準の国際同等性の確保、関連規格の整備等の状況について情報提供を行います。

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イベント情報

《2024年度 圧力真空クラブ研究会》

 今回の研究会のテーマは、「超高真空」です。超高真空の発生は、電子顕微鏡、表面分析、加速器などの先端計測や、高度な成膜プロセスで不可欠な技術です。大気圧より11桁以上低い、1×10-6 Pa 未満の圧力の素早い実現は、超高真空装置の利用効率を向上させるため、産業界における長年のテーマになっています。今回の研究会では、極高真空を用いた電子顕微鏡の開発と、加速器開発の過程で生まれた超高真空ゲッターコーティング技術の産業応用について、講師を招いてご講演いただきます。その後、超高真空計測に関する今後のグループの研究計画について発表します。

 今年度は、NMIJ成果発表会のサテライトイベントとして、講演会を現地会場のみで行います。同日午後にはNMIJ成果発表会にも参加していただけますので、是非、会場までお越しください。
 圧力、真空、リークの技術に関わるさまざまな立場の方々の交流の場となりますよう、多数のご参加をお待ちしております。

日時: 2025年1月17日(金)
     受付 9:30-
     講演会 10:00-12:00
会場: 産業技術総合研究所 つくばセンター共用講堂 2階 大会議室 [交通アクセス]
参加費:無料
開催案内:[成果発表会サイト](準備中)

講演プログラム:

10:00 開会の挨拶
10:00-10:10 工学計測標準研究部門の紹介
 産業技術総合研究所 工学計測標準研究部門 副部門長 尾藤洋一
10:10-10:15 圧力真空標準研究グループの活動紹介
 産業技術総合研究所 圧力真空標準研究グループ 梶川宏明
10:15-10:50 【依頼講演】
電子顕微鏡の電子銃の極高真空化
 日立製作所 研究開発グループ  糟谷圭吾
10:50-11:25 【依頼講演】
加速器から生まれた超高真空ゲッターコーティング技術の社会実装
 日本原子力研究開発機構 J-PARCセンター 加速器ディビジョン
  加速器第三セクションリーダー
 兼 原子力科学研究所 神谷超高真空技術開発ラボリーダー 神谷潤一郎
11:25-11:35 日本の真空標準の過去、現在、未来
 産業技術総合研究所 圧力真空標準研究グループ 吉田肇
11:35-12:00 超高真空排気についての調査研究と今後の計画 ~高速排気の実現に向けて~
 産業技術総合研究所 圧力真空標準研究グループ 長田渉
12:00 閉会の挨拶

参加申し込み方法:NMIJ成果発表会のWebページからお申し込みください。
   (現在準備中。オープンは11月末の予定です。)


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連絡・お問い合わせ先

 国立研究開発法人 産業技術総合研究所
 計量標準総合センター
 工学計測標準研究部門 圧力真空標準研究グループ
  圧力真空クラブ事務局
 e-mail: pres-vac_club_sec-ml[at]aist.go.jp([at] を@に変更してください。)

クラブ入会申し込み: https://unit.aist.go.jp/nmij/nmijclub/registration.html
(入会,年会費等は無料です。退会も上記リンク先からご連絡ください。)

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