第1回MPWファブサービス実施状況

MPW状況

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図1: 配布デバイス

シリコンフォトニクスコンソーシアム第1回MPWファブサービスによる試作デバイスが完成しユーザー各社様へ納品されました。

試作デバイスの概要は以下の通りです。

  • デバイス種別: パッシブデバイス、高速変調器
  • 試作数量:
    • 標準インプラ条件: 1ウエハ (64chips)
    • 標準 ±30% 水準: 2ウエハ (128chips)
  • 進捗:
    • 2019/3/31 テープアウト
    • 2019/10/24 納品
  • 評価: 導波路、変調器とも良好に動作
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図2: 透過損失特性
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図3: 変調動作特性。 28Gbps, VPP=3V