クリエイティブミニマルファブ（CMF）での共用施設公開利用について

産総研臨海副都心センターCPS研究棟（第2別館）4階に、局所クリーン技術で実現させたハーフインチウェハのミニマルファブ装置（約60台）および分析・評価装置を整備しています。これらの装置を産業界などでご利用※いただき、ミニマルファブとしての特長を活かした応用例の新規創出・半導体人材育成等を促進させるため、2024年1月より、産総研約款制度による共用施設公開利用を「クリエイティブミニマルファブ（CMF）」として開始しました。

※各種半導体・MEMS等の実習・教育や、パターンサイズ1μm以上のデバイスの作製等の利用を想定していますが、その他どのような利用の仕方についても、お気軽にご相談ください。