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- ご利用手順
CMF利用の際の事前相談について
- 産総研共用施設の利用に関しては、「共用施設等の利用手続のページ」をご覧ください。
- CMFのご利用にあたっての詳細は、ご利用案内をご確認ください。下記に基本的な項目を記載します。
- ミニマル装置群の利用については、各装置へシャトルの設置から取り出しまで標準利用時間（単位時間）以内での利用を1工程とし、分析・評価装置については、それぞれ設定する単位時間ごとの利用を1工程とします。また、ミニマル装置利用の事務的コスト負担のため、技術指導料として、固定費及び技術代行の場合は作製プロセスについての相談・指導を単位時間1工程として課金します。各工程当たりの単価で当該工程の費用を、その総合計で利用料を算定します（2024年度単価表はこちら）。事前相談において、必要なプロセス・工程数と支援形態、成果公開／非公開等の確認および実施の可否判断を行います。
- 支援形態として、一般に利用される場合、技術代行を基本とし、産総研契約職員によるオペレータ付とさせていただきます。産総研職員のオペレータを不要とする場合は機器利用の支援形態となりますが、利用の可否は半導体製造の経験等を事前相談で確認して判断させていただきます。なお、ご自身のオペレートで本格的に施設を利用される場合は、ミニマル推進機構におけるMOAP認定の取得を推奨します。
利用にあたっての注意事項
- 本ミニマル装置群は、デバイス生産を目指したシステムですが、一部開発中のものがあります。そのため、本ミニマル装置群の使用については、それぞれのプロセス完遂の保証、及び製造したデバイスの動作保証はできかねます。プロセス中に装置や施設等に起因するトラブル（まれにプロセス中のウェハが取り出せない等）が生じた場合でも、それまでになされた工程分については課金させていただくことになります。
- 本ミニマル装置群は、産総研が別途管理する商用ネットワークに接続されています。装置のメンテナンス対応や作動状況・ログ等のデータはミニマルファブの今後の改善・改良のため、産総研およびミニマルファブ推進機構の関係者で確認・収集することがあります。取り扱うデータは、装置固有の情報であり、ユーザの個人情報、作製物に関する情報やプロセス情報は含みません。
- 成果公開の場合のデータは、クリエイティブミニマルファブ（CMF）利用案内に記載の通り、ユーザーに確認の上、CMFの宣伝および産総研のデータ活用の研究開発等で利用させていただく場合があります。これらのデータの管理は、産総研が行います。
- 以上の点ご理解・ご了解の上、ご利用ください。