ミニマルファブとは

ミニマルファブ（Minimal Fab）は、半導体の製造プロセスを極力簡素化し、効率的かつ柔軟な生産を可能にする、産業技術総合研究所で発案し、これまで国プロなどで実証を行ってきた概念です。従来の大規模なクリーンルーム内に設置する半導体製造設備に比べ、ハーフインチ（0.5インチ）のウェハを用い、各プロセス装置内を局所クリーン化し、装置間もミニマルシャトルによりクリーン環境を維持したまま搬送することで、通常の室内環境に置かれた小規模なシステムで、迅速に生産することを目指しています。

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