共用施設CMF装置一覧
2025/3月現在
| 装置番号 | 施設等名称 | 用途 |
|---|---|---|
| CMF-001 | ミニマル装置 マスクレス露光 | 露光装置 |
| CMF-002 | ミニマル装置 電子ビームリソグラフィー（EB露光） | 露光装置 |
| CMF-003 | ミニマル装置 RCA洗浄 | 洗浄装置 |
| CMF-004 | ミニマル装置 RCA洗浄 | 洗浄装置 |
| CMF-005 | ミニマル装置 コータ | 露光装置 |
| CMF-006 | ミニマル装置 デベロッパ | 露光装置 |
| CMF-007 | ミニマル装置 SOD(P) | 表面注入装置 |
| CMF-008 | ミニマル装置 SOD(B) | 表面注入装置 |
| CMF-009 | ミニマル装置 拡散炉(B) | 表面注入装置 |
| CMF-010 | ミニマル装置 拡散炉(P) | 表面注入装置 |
| CMF-011 | ミニマル装置 イオン注入(P) | 表面注入装置 |
| CMF-012 | ミニマル装置 イオン注入(B) | 表面注入装置 |
| CMF-013 | ミニマル装置 PE-CVD(SiN) | ドライ成膜装置 |
| CMF-014 | ミニマル装置 スパッタ(Pt) | ドライ成膜装置 |
| CMF-015 | ミニマル装置 スパッタ(Au) | ドライ成膜装置 |
| CMF-016 | ミニマル装置 スパッタ(TiN) | ドライ成膜装置 |
| CMF-017 | ミニマル装置 スパッタ(Cr) | ドライ成膜装置 |
| CMF-018 | ミニマル装置 スパッタ（3元） | ドライ成膜装置 |
| CMF-019 | ミニマル装置 スパッタ（汎用） | ドライ成膜装置 |
| CMF-020 | ミニマル装置 マルチターゲットスパッタ | ドライ成膜装置 |
| CMF-021 | ミニマル装置 CMP | 研磨装置 |
| CMF-022 | ミニマル装置 マイクロプラズマエッチャー | ドライエッチング装置 |
| CMF-023 | ミニマル装置 マルチボンダー | 後工程パッケージング装置 |
| CMF-024 | ミニマル装置 干渉膜厚計 | 評価装置 |
| CMF-025 | ミニマル装置 金属膜厚計 | 評価装置 |
| CMF-026 | ミニマル装置 微粒子スキャナ | 評価装置 |
| CMF-027 | ミニマル装置 デバイステスタ | 評価装置 |
| CMF-028 | ミニマル装置 RCA洗浄 | 洗浄装置 |
| CMF-029 | ミニマル装置 Piranha 洗浄 | 洗浄装置 |
| CMF-030 | ミニマル装置 ウェットエッチャ（Al） | ウェットプロセス装置 |
| CMF-031 | ミニマル装置 ウェットエッチャ（SiO2） | ウェットプロセス装置 |
| CMF-032 | ミニマル装置 ウェハ反転 | ウェハ反転装置 |
| CMF-033 | ミニマル装置 コータ | 露光装置 |
| CMF-034 | ミニマル装置 デベロッパ | 露光装置 |
| CMF-035 | ミニマル装置 マスクアライナ | 露光装置 |
| CMF-036 | ミニマル装置 集光加熱炉 | 酸化装置 |
| CMF-037 | ミニマル装置 酸化炉 | 酸化装置 |
| CMF-038 | ミニマル装置 レーザ加熱 | 酸化装置 |
| CMF-039 | ミニマル装置 スパッタ（Al） | ドライ成膜装置 |
| CMF-040 | ミニマル装置 スパッタ（TiN） | ドライ成膜装置 |
| CMF-041 | ミニマル装置 TEOSプラズマCVD | ドライ成膜装置 |
| CMF-042 | ミニマル装置 深堀エッチャ | ドライエッチング装置 |
| CMF-043 | ミニマル装置 メタルエッチャ | ドライエッチング装置 |
| CMF-044 | ミニマル装置 ダイボンダ | 後工程パッケージング装置 |
| CMF-045 | ミニマル装置 圧縮モールド | 後工程パッケージング装置 |
| CMF-046 | ミニマル装置 レーザーアブレーション | 後工程パッケージング装置 |
| CMF-047 | ミニマル装置 スパッタ（Ti） 注）2025/2/1に装置名称を変更 | ドライ成膜装置 |
| CMF-048 | ミニマル装置 Cuメッキ | ウェットプロセス装置 |
| CMF-049 | ミニマル装置 ウェットエッチャ（Cu） | ウェットプロセス装置 |
| CMF-050 | ミニマル装置 アセトン洗浄 | 洗浄装置 |
| CMF-051 | ミニマル装置 ボールマウンタ | 後工程パッケージング装置 |
| CMF-052 | ミニマル装置 リフロｰ炉 | 後工程パッケージング装置 |
| CMF-053 | ミニマル装置 プラズマクリーナー（デスミア加工） | 後工程パッケージング装置 |
| CMF-054 | ミニマル装置 スパッタ（Cu） | ドライ成膜装置 |
| CMF-055 | ミニマル装置 集光加熱炉 | 酸化装置 |
| CMF-056 | ミニマル装置 RCA洗浄 | 洗浄装置 |
| CMF-057 | ミニマル装置 レジスト除去 | 洗浄装置 |
| CMF-058 | ミニマル装置 Piranha洗浄 | 洗浄装置 |
| CMF-059 | ミニマル装置 マスクレス露光 | 露光装置 |
| CMF-060 | ミニマル装置 マイクロプラズマエッチャ | ドライエッチング装置 |
| CMF-061 | ミニマル装置 深堀エッチャ | ドライエッチング装置 |
| CMF-101 | 電界放出型走査型電子顕微鏡 | 観察・分析装置 |
| CMF-102 | 光学顕微鏡 | 観察装置 |
| CMF-103 | 触針式プロファイリングシステム | 測定装置 |
| CMF-104 | 電気特性分析用プローバ | 電気特性分析装置 |
| CMF-105 | 半導体パラメータ・アナライザ | 電気特性分析装置 |
| CMF-106 | LCRメータ | 電気特性分析装置 |