2024/1月現在

装置番号	施設等名称	用途
CMF-001	ミニマル装置　マスクレス露光	露光装置
CMF-002	ミニマル装置　電子ビームリソグラフィー（EB露光）	露光装置
CMF-003	ミニマル装置　RCA洗浄	洗浄装置
CMF-004	ミニマル装置　RCA洗浄	洗浄装置
CMF-005	ミニマル装置　コータ	露光装置
CMF-006	ミニマル装置　デベロッパ	露光装置
CMF-007	ミニマル装置　SOD(P)	表面注入装置
CMF-008	ミニマル装置　SOD(B)	表面注入装置
CMF-009	ミニマル装置　拡散炉(B)	表面注入装置
CMF-010	ミニマル装置　拡散炉(P)	表面注入装置
CMF-011	ミニマル装置　イオン注入(P)	表面注入装置
CMF-012	ミニマル装置　イオン注入(B)	表面注入装置
CMF-013	ミニマル装置　PE-CVD(SiN)	ドライ成膜装置
CMF-014	ミニマル装置　スパッタ(Pt)	ドライ成膜装置
CMF-015	ミニマル装置　スパッタ(Au)	ドライ成膜装置
CMF-016	ミニマル装置　スパッタ(TiN)	ドライ成膜装置
CMF-017	ミニマル装置　スパッタ(Cr)	ドライ成膜装置
CMF-018	ミニマル装置　スパッタ（3元）	ドライ成膜装置
CMF-019	ミニマル装置　スパッタ（汎用）	ドライ成膜装置
CMF-020	ミニマル装置　マルチターゲットスパッタ	ドライ成膜装置
CMF-021	ミニマル装置　CMP	研磨装置
CMF-022	ミニマル装置　マイクロプラズマエッチャー	ドライエッチング装置
CMF-023	ミニマル装置　マルチボンダー	後工程パッケージング装置
CMF-024	ミニマル装置　干渉膜厚計	評価装置
CMF-025	ミニマル装置　金属膜厚計	評価装置
CMF-026	ミニマル装置　微粒子スキャナ	評価装置
CMF-027	ミニマル装置　デバイステスタ	評価装置
CMF-028	ミニマル装置　RCA洗浄	洗浄装置
CMF-029	ミニマル装置　Piranha 洗浄	洗浄装置
CMF-030	ミニマル装置　ウェットエッチャ（Al）	ウェットプロセス装置
CMF-031	ミニマル装置　ウェットエッチャ（SiO2）	ウェットプロセス装置
CMF-032	ミニマル装置　ウェハ反転	ウェハ反転装置
CMF-033	ミニマル装置　コータ	露光装置
CMF-034	ミニマル装置　デベロッパ	露光装置
CMF-035	ミニマル装置　マスクアライナ	露光装置
CMF-036	ミニマル装置　集光加熱炉	酸化装置
CMF-037	ミニマル装置　酸化炉	酸化装置
CMF-038	ミニマル装置　レーザ加熱	酸化装置
CMF-039	ミニマル装置　スパッタ（Al）	ドライ成膜装置
CMF-040	ミニマル装置　スパッタ（TiN）	ドライ成膜装置
CMF-041	ミニマル装置　TEOSプラズマCVD	ドライ成膜装置
CMF-042	ミニマル装置　深堀エッチャ	ドライエッチング装置
CMF-043	ミニマル装置　メタルエッチャ	ドライエッチング装置
CMF-044	ミニマル装置　ダイボンダ	後工程パッケージング装置
CMF-045	ミニマル装置　圧縮モールド	後工程パッケージング装置
CMF-046	ミニマル装置　レーザーアブレーション	後工程パッケージング装置
CMF-047	ミニマル装置　スパッタ（Cu）	ドライ成膜装置
CMF-048	ミニマル装置　Cuメッキ	ウェットプロセス装置
CMF-049	ミニマル装置　ウェットエッチャ（Cu）	ウェットプロセス装置
CMF-050	ミニマル装置　アセトン洗浄	洗浄装置
CMF-051	ミニマル装置　ボールマウンタ	後工程パッケージング装置
CMF-052	ミニマル装置　リフロｰ炉	後工程パッケージング装置
CMF-053	ミニマル装置　プラズマクリーナー（デスミア加工）	後工程パッケージング装置
CMF-101	電界放出型走査型電子顕微鏡	観察・分析装置
CMF-102	光学顕微鏡	観察装置
CMF-103	触針式プロファイリングシステム	測定装置
CMF-104	電気特性分析用プローバ	電気特性分析装置
CMF-105	半導体パラメータ・アナライザ	電気特性分析装置
CMF-106	LCRメータ	電気特性分析装置