> 公的外部資金による研究テーマ
| 種目 | 期間 | タイトル | 担当者 |
| 科研費· 基盤研究（B） |
2022- 2025 |
磁気力顕微鏡を応用した半導体の局所不純物濃度の非接触測定装置の開発 | 村上勝久 （分担） |
| 科研費· 挑戦的研究（萌芽） |
2022- 2024 |
グラフェン電子源を用いたホットエレクトロン注入による炭化水素燃料分解と水素製造 | 村上勝久 （代表） |
| 科研費· 挑戦的研究（萌芽） |
2022- 2024 |
効率と安定性のトレードオフ限界を超える超小型直流放電の実現とイオン推進機への応用 | 村上勝久 （分担） |
| 双葉電子記念財団自然科学研究助成 | 2022 | 多層グラフェンの新奇形成技術の開拓 | 村田博雅 （代表） |
| 科研費・研究活動スタート支援 | 2021- 2022 | フレキシブルデバイスの実現に向けた革新的多層グラフェン構造の創製 | 村田博雅 （代表） | エネルギー・環境新技術先導研究プログラム | 2021- 2022 | 絶縁基板上大面積高品質グラフェン成膜技術の開発と光デバイス応用 | 村上勝久 （代表） |
科研費・基盤研究(B) | 2021- 2023 | h-BN直接成膜と原子層物質積層構造を用いた超単色電子放出デバイスの創出 | 村上勝久 （代表） |
科研費・基盤研究(B) | 2021- 2023 | 耐熱・耐放射線真空電子デバイスの動作電圧低減による安定性確保と長寿命化 | 長尾昌善
（分担） |
科研費・基盤研究(B) | 2021- 2023 | 微小電極間エレクトロスプレー現象解明による超小型宇宙推進機の多用途化 | 長尾昌善
（分担） |
| 科研費· 基盤研究（C） |
2019- 2021 |
原子・ナノ積層構造制御による超高輝度な面放射型ホットエレクトロン放出デバイス | 村上勝久 （分担） |
| 双葉電子記念財団自然科学研究助成 | 2019- 2020 |
高集積イオン液体イオン源の開発 | 長尾昌善 （代表者） |
| 科研費· 挑戦的研究（萌芽） |
2018- 2021 |
電子放出面の電位構造が従来と逆になる電子源を用いた新規超小型イオン推進機の実現 | 村上勝久 （分担） |
| 科研費· 挑戦的研究（C） |
2018- 2021 |
磁気力顕微鏡を用いたナノ領域の金属探知機の研究 | 村上勝久 （分担） |
| 科研費· 基盤研究（B) |
2018- 2020 |
原子層物質積層構造を用いた超高効率平面型電子放出デバイスの創出 | 村上勝久 （代表者） |
| 科研費· 基盤研究（B) |
2018- 2020 |
推力密度の飛躍的な増加と冗長系の確保が可能な超小型エレクトロスプレー宇宙推進機 | 長尾昌善 （分担者） |
| 双葉電子記念財団自然科学研究助成 | 2018- 2019 |
CdTe系光電変換膜を用いた過酷環境対応小型撮像デバイスの開発 | 長尾昌善 |
| 委託研究 | 2017- 2020 |
FEAプロセスによるイオン源の高密度実装ならびにグラフェン電子源の高効率化 | 長尾昌善 村上勝久 |
| サポイン事業 | 2017- 2020 |
金属蒸気触媒CVD技術を用いたミニマルファブ用絶縁基板上グラフェン直接合成装置の開発 | 村上勝久 （サブリーダー） |
| 科研費· 挑戦的萌芽研究 |
2016- 2018 |
絶縁基板上グラファイト層間化合物集積化技術の開発とデバイス応用 | 村上勝久 （代表者） |
| 科研費· 基盤研究（B) |
2016- 2018 |
300°C·10MGyの耐熱耐放射線性能を持つ電子·撮像デバイス用微小電子源の開発 | 長尾昌善 （分担者） |
| 科研費· 基盤研究A |
2015- 2017 |
超高感度局在場可視化技術創出による触媒機能発現機構解明と高機能触媒の開発 | 村上勝久 （分担者） |
| 科研費· 若手研究（A） |
2015- 2017 |
金属蒸気触媒CVDによるグラフェンの絶縁基板上直接合成と高効率MOS冷陰極の開発 | 村上勝久 （代表者） |
受賞
| 受賞 | 2022年10月21日、技術研修生の大住知暉さん（京大）が第23回量子理工学教育研究センター公開シンポジウムにてベストポスター賞を受賞しました |
|---|---|
| タイトル | 陰極被覆に用いる窒化ハフニウム薄膜の窒素組成と膜中酸素の分析 |
| 概要 | QSECシンポジウム
大住知暉、長尾昌善、後藤康仁
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| 受賞 | 2022年9月、リサーチアシスタントの山本将也さん（静岡大）が2022年度秋季応用物理学会講演奨励賞を受賞しました。 |
|---|---|
| タイトル | Si基板上h-BN直接成膜技術とgraphene/h-BN/Si積層型平面電子源の開発 |
| 概要 | 第53回（2022年秋季）応用物理学会講演奨励賞 |
| 受賞 | 2022年9月15日、村田博雅研究員がThe 22nd International Vacuum Congress (IVC-22) においてYoung Researcher Awardを受賞しました。 |
|---|---|
| タイトル | High Quality Multilayer Graphene Synthesis by Controlling Amorphous Carbon Density in Layer Exchange |
| 概要 | 受賞者：村田博雅、都甲薫(筑波大)、村上勝久、長尾昌善
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| 受賞 | 2021年度リサーチアシスタントの松本直之さんが電子情報通信学会電子デバイス研究会（2021年12月開催）において論文発表奨励賞を受賞しました |
|---|---|
| タイトル | 地球低軌道応用に向けた平面型グラフェン電子源の耐酸素コーティング |
| 概要 | 令和三年度 電子デバイス研究会 論文発表奨励賞
受賞者：松本直之 
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| 受賞 | 研究員の村田博雅さんが船井研究奨励賞を受賞しました。 |
|---|---|
| タイトル | フレキシブル全固体薄膜二次電池の実現に向けた多層グラフェンの低温合成に関する研究 |
| 概要 | 
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| 受賞 | 2022年3月31日、村上勝久主任研究員が産総研論文賞を受賞しました。 |
|---|---|
| タイトル | Highly monochromatic electron emission from graphene/Hexagonal Boron Nitride/Si Heterostructure |
| 概要 | 受賞者：村上勝久、猪狩朋也（筑波大学RA）、長尾昌善 https://www.aist.go.jp/aist_j/aist_award/ |
| 受賞 | 2021年2月9日、リサーチアシスタントの村田博雅さん（筑波大）が日本学術会議「育志賞」を受賞しました。 |
|---|---|
| タイトル | 金属誘起層交換による多層グラフェン合成と薄膜二次電池応用 |
| 概要 | https://www.jsps.go.jp/j-ikushi-prize/data/ichiran/11th_Ikushi_list_jp.pdf |
| 受賞 | 2019/9/18-21に開催された第47回（2019年秋季）応用物理学会学術講演会において、筑波大学から来ているRAの猪狩朋也さんが講演奨励賞を受賞しました。 |
|---|---|
| タイトル | Graphene/h-BNを用いた原子層物質積層平面型電子源 |
| 概要 | 受賞者：猪狩朋也（筑波大、産総研）、長尾昌善、三石和貴（NIMS）、佐々木正洋（筑波大）、山田洋一（筑波大）、村上勝久 応用物理学会のページ |
| 受賞 | 2018年9月10日、村上勝久主任研究員がエレクトロニクス・製造領域 若手発表会 領域長賞を受賞しました。 |
|---|---|
| タイトル | 絶縁基板上へのグラフェン直接合成技術を用いた低電圧・大気圧で動作可能な超高効率グラフェン平面電子源の開発 |
| 概要 |
|
| 受賞 | 2018年7月9日-13日に開催された31st International Vacuum Nanoelectronics Conferenceにおいて、横浜国立大学から来ている技術研修生古家遼さんが、Student Presentation Awardを受賞しました。 |
|---|---|
| タイトル | Improvement of Electron Emission Efficiency of Graphen-Oxide-Semiconductor Planer-Type Electron Sources for Nanosatellite Neutralizers |
| 概要 | 受賞者：古家遼（横浜国大 技術研修生）、村上勝久、長尾昌善、鷹尾祥典（横浜国大） |
| 受賞 | 2017年9月5日-8日に開催された第78回応用物理学会秋期学術講演会において、長尾研究グループ長がポスターアワードを受賞しました。 |
|---|---|
| タイトル | ミニマルファブを用いたエレクトロスプレースラスタの試作 |
| 概要 | 受賞者：長尾昌善、井上直樹（横浜国大 技術研修生）、鷹尾祥典（横浜国大）、辰巳憲之、村上勝久、クンプアンソマワン、原史朗 大分類分科名：13.半導体、講演番号:8p-PA2-11 応用物理学会のページ |
論文発表
| 2022 | 絶縁基板上へのグラフェン直接成膜とデバイス応用, 村上勝久, 表面と真空, Vol. 65, No.4 pp.184-189 (2022) https://doi.org/10.1380/vss.65.184 | |
| 2022 | Naoyuki Matsumoto, Yoshinori Takao, Masayoshi Nagao, and Katsuhisa Murakami, “Oxidation Resistance Improvement of Graphene-Oxide-Semiconductor Planar-Type Electron Sources Using h-BN as an Oxygen-Resistant, Electron-Transmissive Coating”, ACS Omega 7, 33004-33009, (2022) https://doi.org/10.1021/acsomega.2c02709 | |
| 2021 | T. Igari, M. Nagao, K. Mitsuishi, M. Sasaki, Y. Yamada, K. Murakami, “Origin of Monochromatic Electron Emission From Planar-Type Graphene/h-BN/n-Si Devices”, Physical Review Applied 15, 014044 (2021). https://doi.org/10.1103/PhysRevApplied.15.014044 | |
| 2021 | K. Suzuki, M. Nagao, Y. Liu, K. Murakami, S. Khumpuang, S. Hara, Y. Takao, “Fabrication of nano-capillary emitter arrays for ionic liquid electrospray thrusters”, Jpn. J. Appl. Phys., 60, SCCF07 (2021). https://doi.org/10.35848/1347-4065/abf2d5 | |
| 2021 | M. Takahashi, S. Sakai, “Area-scalable 109-cycle-high-endurance FeFET of strontium bismuth tantalate using a dummy-gate process”, Nanomatrials, 11, p.101 (2021). https://doi.org/10.3390/nano11010101 | |
| 2020 | M. Harada, M. Takahashi, S. Sakai, T. Morie, “A time-domain analog weighted-sum calculation circuit using ferroelectric-gate field-effect transistors for artificial intelligence processors”, Japanese Journal of Applied Physics, 59, 040604 (2020). https://doi.org/10.35848/1347-4065/ab7ff1 | |
| 2020 | July | Katsuhisa Murakami, Manabu Adachi, Joji Miyaji, Ryo Furuya, Masayoshi Nagao, Yoichi Yamada, Yoichiro Neo, Yoshinori Takao, Masahiro Sasaki, and Hidenori Mimura, "Mechanism of Highly Efficient Electron Emission from a Graphene/ Oxide/Semiconductor Structure", ACS Appl. Electron. Mater. 2020, 2, 2265−2273. https://dx.doi.org/10.1021/acsaelm.0c00449 |
| 2020 | April | Yasuhito Gotoh, Hiroshi Tsuji, Masayoshi Nagao, Tomoaki Masuzawa, Yoichiro Neo, Hidenori Mimura, Tamotsu Okamoto, Tomoya Igari, Masafumi Akiyoshi, Nobuhiro Sato, and Ikuji Takagi, "Development of a Field Emission Image Sensor Tolerant to Gamma-Ray Irradiation," IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, VOL. 67, NO. 4, (2020) 1660. https://doi.org/10.1109/TED.2020.2977674 |
| 2020 | April | Ryo Furuya, Yoshinori Takao, Masayoshi Nagao, Katsuhisa Murakami, "Low-power-consumption, high-current-density, and propellantless cathode using graphene-oxide-semiconductor structure array," Acta Astronautica 174 (2020) 48–54. https://doi.org/10.1016/j.actaastro.2020.04.014 |
| 2020 | Jan. | 高性能電子源の開発と広がる応用技術、長尾昌善、村上勝久、真空と表面、Vol. 63, No.1 pp.7-12 (2020) https://doi.org/10.1380/vss.63.7 |
| 2019 | Dec. | Katsuhisa Murakami, Tomoya Igari, Kazutaka Mitsuishi, Masayoshi Nagao, Masahiro Sasaki, and Yoichi Yamada, "Highly Monochromatic Electron Emission from Graphene/ Hexagonal Boron Nitride/Si Heterostructure," ACS Appl. Mater. Interfaces 2020, 12, 4061-4067. https://dx.doi.org/10.1021/acsami.9b17468 |
| 2019 | May | Katsuhisa Murakami, Joji Miyaji, Ryo Furuya, Manabu Adachi, Masayoshi Nagao, Yoichiro Neo, Yoshinori Takao, Yoichi Yamada, Masahiro Sasaki, Hidenori Mimura, "High-performance planar-type electron source based on a graphene-oxide-semiconductor structure", Applied Physics Letters, 114, 213501 (2019). |
| 2019 | May | Naoki Inoue, Masayoshi Nagao, Katsuhisa Murakami, Sommawan Khumpuang, Shiro Hara, Yoshinori Takao, "Fabrication of a high-density emitter array for electrospray thrusters using filed emitter array process", Japanese Journal of Applied Physics, 58, SEEG04 (2019). |
| 2019 | Jan. | 鷹尾祥典、土屋智由、長尾昌善、村上勝久、"超小型高推力密度エレクトロスプレースラスタの研究開発”,日本航空宇宙学会誌、第67巻、第1号、p.5 (2019) |
| 2019 | Jan. | Wei Zhang, Mitsue Takahashi, Shigeki Sakai, "Investigation of Ferroelectric Grain Sizes and Orientations in Pt/CaxSr1-xBi2Ta2O9/Hf-Al-O/Si High Performance Ferroelectric-Gate Field-Effect-Transistors", Materials 12(3), 399, (2019). https://doi.org/10.3390/ma12030399 |
| 2018 | May | Y. Liu, H. Tanaka, N. Umeyama, K. Koga, S. Khumpuang, M. Nagao, T. Matsukawa, S. Hara, "Investigation of piezoresistive effect in p-channel metalｰoxide-semiconductor field-effect transistors fabricated on circular silicon-on-insulator diaphragms using cost-effective minimal-fab process", Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 57, 06HD03 (2018). |
| 2018 | Feb. | K. Murakami, S. Tanaka, T. Iijima, M. Nagao, Y. Nemoto, M. Takeguchi, Y. Yamada, M. Sasaki, "Electron emission properties of graphen-oxide-semiconductor planar-type electron emission devices", Journal of Vacuum Science & Technology B, Vol. 36, 02C110 (2018). |
| 2017 | Aug. | Y. Gotoh, H. Tsuji, M. Nagao, M. Akiyoshi, I. Takagi, "System for Evaluation of Electron Emission Properties of Field Emitter Arrays under X-ray Irradiation", Journal of Vacuum Society Japan, Vol. 60, No. 8, p.328 (2017). |
| 2017 | Apr. | Y. Liu, K. Koga, S. Khumpuang, M. Nagao, T. Matsukawa, S. Hara, "An experimental study of solid source diffusion by spin on dopants and its application for minimal silicon-on-insulator CMOS fabrication", Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 56, 06GG01 (2017). |
| 2017 | Mar. | S. Sakai, W. Zhang, and M. Takahashi, "Method for disclosing invisible physical properties in metal-ferroelectric-insulator-semiconductor gate stacks", Journal of Physics D: Applied Physics, Vol. 50, 165107, (2017). |
| 2017 | Mar. | Wei Zhang, M. Takahashi, Y. Sasaki, M. Kusuhara, and S. Sakai, "3.3 V write-voltage Ir/Ca0.2Sr0.8Bi2Ta2O9/HfO2/Si ferroelectric-gate field-effect transistors with 109 endurance and good retantion", Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 56, 04CE04 (2017). |
| 2017 | Mar. | T. Nakano, T. Narita, K. Oya, M. Nagao, H. Ohsaki, "Fabrication of Mo microcones for volcano-structured double-gate Spindt-type emitter cathodes using triode high power pulsed magnetron sputtering", Journal of Vacuum Science and Technology B, Vol. 35, No.2, 022204 (2017) |
| 2017 | Feb. | M. Nagao, "Micro-fabricated Field Emitter Arrays -For New Applications-", Journal of the Vacuum Society of Japan, Vol.60, No.2, p.47 (2017). |
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学会発表
2021
- 村上勝久、猪狩朋也、長尾昌善、佐々木正洋、山田洋一、”Graphen/h-BN/n-Si積層構造からの単色電子放出機構”、 第69回応用物理学会春季学術講演会、オンライン、 2022/3/26
- 若家冨士男、寺門大知、阿保智、長尾昌善、村上勝久、”Graphen-Insulator-Semiconductor電子源の電子放出特性のシミュレーション”、 第69回応用物理学会春季学術講演会、オンライン、2022/3/26
- T. Shingu, M. Nagao, K. Murakami, H. Murata, S. Khumpuang, S. Hara, Y. Takao, “Fabrication of SU-8 Based Emitter Arrays for Ionic Liquid Electrospray Thrusters”, 33rd International Symposium on Space Technology and Science, Beppu, Japan, 2022/2/26
- 松本直之、鷹尾祥典、長尾昌善、村上勝久、”平面型グラフェン電子源の原子状酸素に対する耐性調査“、令和三年度宇宙輸送シンポジウム、オンライン、2022/1/14
- 松本直之、鷹尾祥典、長尾昌善、村上勝久、“地球低軌道応用に向けた平面型グラフェン電子源の耐酸素コーティング”、電子情報通信学会電子デバイス研究会、オンライン、2021/12/9
- 亀田ゆきの、村上勝久、長尾昌善、三村秀典、根尾陽一郎、“グラフェン平面陰極搭載の走査型電子顕微鏡用電子銃の最適設計”、電子情報通信学会電子デバイス研究会、オンライン、2021/12/9
- 新宮拓実、長尾昌善、村上勝久、村田博雅、Khumpuang Sommawan、原史朗、鷹尾祥典、”厚膜レジストSU-8を用いたエレクトロスプレースラスタの試作“、第65回宇宙科学技術連合講演会、オンライン、2021/11/9
- 小沢真、モハメッドシュルズミヤ、中野武雄、村田博雅、村上勝久、長尾昌善、“三極型反応性HPPMSを用いたHfNスピント型エミッタの試作と構造制御”、2021年日本表面真空学会学術講演会、オンライン、2021/11/5
- 亀田ゆきの、村上勝久、長尾昌善、三村秀典、根尾陽一郎、“Graphene-Oxide-Semiconductor型平面電子源を搭載したSEMの開発”、2021年日本表面真空学会学術講演会、オンライン、2021/11/5
- N. Matsumoto, Y. Takao, M. Nagao, K. Murakami, “Oxygen Resistance Enhancement of Graphene-Oxide-Semiconductor Planer-Type Electron Source Using Hexagonal Boron Nitride”, 34th International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC2022), Online, 2021/10/26
- Y. X. Liu, I. Akita, T. Matsukawa, H. Tanaka, K. Koga, M. Nemoto, K. Sommawan, M. Nagao, Y. Morita, S. Hara, “Development of Digital Type CMOS-MEMS Cointegrated Pressure Sensor Using Cost-Effective Minimal Fab Tools”, 34th International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC2022), Online, 2021/10/26
- 後藤康仁、長尾昌善、増澤智昭、根尾陽一郎、三村秀典、岡本保、佐藤信浩、秋吉優史、髙木郁二、“フィールドエミッタアレイと光電変換膜を用いた耐放射線撮像素子開発”、第82回応用物理学会秋期学術講演会、オンライン、2021/9/10
- 嶋脇秀隆、村上勝久、長尾昌善、三村秀典、“ナノ結晶シリコンを用いた平面型電子放出素子からの電子放出（II）”、第82回応用物理学会秋期学術講演会、オンライン、2021/9/10
- 小沢真、モハメッドシュルズミヤ、中野武雄、村田博雅、村上勝久、長尾昌善、“三極型HPPMSを用いたHf, HfN製スピント型エミッタの作製”、第82回応用物理学会秋期学術講演会、オンライン、2021/9/10
- 亀田ゆきの、村上勝久、長尾昌善、三村秀典、根尾陽一郎、“Graphene-Oxide-Semiconductor型平面電子源の走査型電子顕微鏡応用”、第82回応用物理学会秋期学術講演会、オンライン、2021/9/10
- 松本直之、鷹尾祥典、長尾昌善、村上勝久、“平面型グラフェン電子源の地球低軌道応用に向けた原子状酸素耐性向上”、第82回応用物理学会秋期学術講演会、オンライン、2021/9/10
- 村上勝久、山田洋一、根尾陽一郎、鷹尾祥典、佐々木正洋、三村秀典、長尾昌善、“Graphene/SiO2/n-Si積層構造からの高効率電子放出機構”、第82回応用物理学会秋期学術講演会、オンライン、2021/9/10
- N. Matsumoto, Y. Takao, M. Nagao, K. Murakami, “Oxygen resistance investigation of graphene-oxide-semiconductor planar-type electron sources for low earth orbit application”, 34th International Vacuum Nanoelectronics Conference, Online, 2021/7/7
- Y. Kameda, K. Murakami, M. Nagao, H. Mimura, Y. Neo, “Microscope equipped with graphene-oxide-semiconductor electron source”, 34th International Vacuum Nanoelectronics Conference, Online, 2021/7/7
- (invited) K. Murakami, N. Matsumoto, Y. Kameda, Y. Takao, Y. Neo, H. Mimura, Y. Yamada, M. Sasaki, K. Mitsuishi, M. Nagao, “Planar type electron emission device using atomic layered material and its applications”, 34th International Vacuum Nanoelectronics Conference, Online, 2021/7/7
2020
- Naoyuki Matsumoto, Katsuhisa Murakami, Masayoshi Nagao, Yoshinori Takao, “Resistance Investigation of Graphene-Oxide-Semiconductor Planar-Type Electron Sources against Atomic Oxygen”, The 10th Asian Joint Conference on Propulsion and Power, Online/Korea, 2021/3/3.
- 竹内勇人、若家冨士男、阿保智、長尾昌善、村上勝久、”膜厚および結晶性に対するグラフェン歪感度の依存性”, 第68回応用物理学会春季学術講演会, Online, 2021/3/16
- 鈴木貫太、長尾昌善、柳永勛、村上勝久、クンプアンソマワン、原史朗、鷹尾祥典、” ナノキャピラリエミッタを有する高実装密度エレクトロスプレースラスタのイオン放出実験”, 宇宙輸送シンポジウム, Online, 2021/1/14
- Y. X. Liu, K. Murakami, X. Li, M. Nemoto, S. Noda, H. Tanaka, K. Koga, S. Khumpuang, Y. Morita, T. Matsukawa, S. Hara, M. Takeguchi, M. Nagao, “Development of Monolithic Liquid Cell for Transmission Electron Microscope Using Minimal Fab Process”, 33rd International Microprocess and Nanotechnology Conference, Online, 2020/11/10.
- K. Suzuki, M. Nagao, Y. X. Liu, K. Murakami, S. Khumpuang, S. Hara, Y. Takao, “Fabrication of Nano-Capillary Emitter Arrays for Ionic Liquid Electrospray Thrusters”, 33rd International Microprocess and Nanotechnology Conference, Online, 2020/11/10.
- Hidetaka Shimawaki, Katsuhisa Murakami, Masayoshi Nagao, Hidenori Mimura, “Electron emission properties of planar-type electron emission sources based on nanocrystalline silicon”, 33rd International Vacuum Nanoelectronics Conference, Online/Lyon France, 2020/7/9.
| 2019 | Nov. | 古家遼、村上勝久、長尾昌善、鷹尾祥典、”低電圧駆動可能な小型中和器実現に向けたグラフェン/SiO2/Si積層型平面電子源の大電流化", 第63回宇宙科学技術連合講演会、徳島、2019/11 |
| 2019 | Nov. | 鈴木貫太、長尾昌善、村上勝久、クンプアンソマワン、原史朗、鷹尾祥典、”高密度実装エレクトロスプレースラスタのための微細キャピラリ・ニードル型エミッタ電極の作製”、第63回宇宙科学技術連合講演会、徳島、2019/11 |
| 2019 | Oct.. | 後藤康仁、森藤瑛之、半田祐典、長尾昌善、佐藤信浩、秋吉優史、髙木郁二、岡本保、”放射線照射がフィールドエミッタアレイの電子放出特性及ぼす影響”、2019年日本表面真空学会学術講演会、つくば、2019/10 |
| 2019 | Oct. | 古家遼、村上勝久、長尾昌善、鷹尾祥典、”超小型イオンエンジン用Graphene/SiO2/Si積層平面型電子源の大電流化", 2019年日本表面真空学会学術講演会、つくば、2019/10 |
| 2019 | Oct. | 鈴木貫太、長尾昌善、村上勝久、クンプアンソマワン、原史朗、鷹尾祥典、”高密度キャピラリ・ニードル型エミッタ電極を有するエレクトロスプレーイオン源の作製”、2019年日本表面真空学会学術講演会、つくば、2019/10 |
| 2019 | Oct. | Hidetoshi Shinya, Hidekazu Murata, Eiji Rokuta, Hiroshi Shimoyama, Masayoshi Nagao, Katsuhisa Murakami, "Improvement of a number of active tips and emission measurement from individual tips in volcano-structured Spindt-type field emitter arrays", 12th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Material and Devices (ALC'19), Kyoto, Japan, 2019/10. |
| 2019 | Sep. | 猪狩朋也、長尾昌善、三石和貴、佐々木正洋、山田洋一、村上勝久、”Graphene/h-BNを用いた原子層物質積層平面型電子源"、第80回応用物理学会秋期学術講演会、札幌、2019/9 （講演奨励賞受賞） |
| 2019 | Sep. | 名渕雄太、長尾昌善、三村秀典、根尾陽一郎、”大電流電子源に向けたニッケル合金フィールドエミッタアレイの試作”、第80回応用物理学会秋期学術講演会、札幌、2019/9 |
| 2019 | Sep. | 竹内勇人、若家冨士男、阿保智、村上勝久、長尾昌善、"グラフェン歪みセンサーを用いた自己検知型カンチレバー”、第80回応用物理学会秋期学術講演会、札幌、2019/9 |
| 2019 | Sep. | Yoshinori, Takao, Naoki Inoue, Kanta Suzuki, Fumiya Tachibana, Masayoshi Nagao, Katsuhisa Murakami, Toshiyuki Tsujiya, "Development of Ionic Liquid Electrospray Thrusters with a Massive Emitter Array for Higher Thrust Density", 36th International Electric Propulsion Conference, Vienna, Austria, 2019/9 |
| 2019 | Sep. | Ryo Furuya, Katsuhisa Murakami, Msayoshi Nagao, Yoshinori Takao, "Development of Low-Voltage-Driven Propellantless Cathodes with High-Current Density Based on Graphene-Oxide-Semiconductor Structure", 36th International Electric Propulsion Conference, Vienna, Austria, 2019/9 | 2019 | Jul. | Tomoya Igari, Masayoshi Nagao, Yoichi Yamada, Masahiro Sasaki, Katsuhisa Murakami, "Develoepment of Planar-type electron emission device based on a graphene/h-BN Heterostructure", 32nd International Vacuum Nanoelectronics Conference, Cincinnati, U.S.A., 2019/7. |
| 2019 | Jul. | Yuta Nabuchi, Masayoshi Nagao, Katsuhisa Murakami, Yoichiro Neo, Hidenori Mimura, "Nickel based alloy field emitter array for large current", 32nd International Vacuum Nanoelectronics Conference, Cincinnati, U.S.A., 2019/7. |
| 2019 | Jul. | T. Nakano, H. Taniguchi, K. Oya, M. Nagao, H. Ohsaki, K. Murakami, Optimization of Spindt-type emitter cathode shape prepared by high power pulsed magnetron sputtering: the effect of template cavity dimensions" , IVC-21, Malmo, Sweden, 2019/7. |
| 2019 | Jul. | 長尾昌善、”大電流動作・ビーム集束・マトリクス駆動が可能な電界放出型電子源”、新技術説明会、2019/7. |
| 2019 | Jun. | 長尾昌善、村上勝久、”高性能電子源の開発と広がる応用技術”、日本表面真空学会2019年6月研究例会、仙台、2019/6 |
| 2019 | May | Yasuhito, Gotoh, Teruyuki Morito, Masayoshi Nagao, Tomoaki Masuzawa, Yoichiro Neo, Hidenori Mimura, Tamotsu Okamoto, Tomoya Igari, Tkahiro Fukui, Nobuhiro Sato, Masafumi Akiyoshi, Ikuji Takagi, "Radiation Tolerant Vacuum Image Sensor for Robots Working on Removal of Fuel Devris", International Topical Workshop on Fukushima Decommissioning Research, Fukushima, Japan, 2019/5 |
| 2019 | Mar. | 柳永勛、佐藤和重、田中宏幸、古賀和博、クンプアンソマワン、長尾昌善、松川貴、原史朗、”ミニマルファブのゲートファーストプロセスで作製したPVD-TiNメタルゲートSOI-MOSFET電気特性のRTA依存性"、第66回応用物理学会春季学術講演会、東京、oa-M114-7、2019/3. |
| 2019 | Mar. | 谷口日向、中野武雄、大家渓、長尾昌善、大崎壽、村上勝久、”HPPMSを用いたSpindt型エミッタ作製におけるキャビティ構造の影響”、第66回応用物理学会春季学術講演会、東京、12p-W934-8、2019/3. |
| 2019 | Mar. | 石原浩行、若家冨士男、村上勝久、長尾昌善、宮戸祐治、山下隼人、阿保智、阿部真之、”原子間力顕微鏡法における薄膜破壊プロセスの解析(II)、第66回応用物理学会春季学術講演会、東京、11p-M116-11、2019/3. |
| 2019 | Mar. | 古家遼、村上勝久、長尾昌善、鷹尾祥典、”小型イオンエンジン用平面型グラフェン電子源の電子電流特性評価”、第66回応用物理学会春季学術講演会、東京、9a-S223-7、2019/3. |
| 2019 | Mar. Invited |
村上勝久、宮路丈司、古家遼、安達学、長尾昌善、根尾陽一郎、鷹尾祥典、山田洋一、佐々木正洋、無村秀典、”低真空・液体中でも動作する超高効率グラフェン平面電子源”、第16回真空ナノエレクトロニクスシンポジウム、東京、2019/3. |
| 2019 | Mar. Invited |
嶋脇秀隆、長尾昌善、三村秀典、”ピコ秒光変調を可能にするボルケーノ構造シリコンフィールドエミッタアレイ”、第16回真空ナノエレクトロニクスシンポジウム、東京、2019/3. |
| 2018 | Dec. | 柳永勛, 佐藤和重, 田中宏幸, 古賀和博, クンプアンソマワン, 長尾昌善, 松川貴, 原史朗, "1kトランジスタレベルのCMOS集積化", SEMICON JAPAN 2018 |
| 2018 | Nov. | Naoki Inoue, Masayoshi Nagao, Katsuhisa Murakami, Sommawan Khupuang, Shiro Hara, Yoshinori Takao, "Fabrication of a high-density emitter array for electrospray thrusters using field emitter array process", 40th International Symposium on Dry Process, Nagoya, 2018/11 |
| 2018 | Oct invited |
Katsuhisa Murakami, Joji Miyaji, Ryo Furuya, Manabu Adachi, Masayoshi Nagao, Yoshihiro Nemoto, Masaki Takeguchi, Yoichiro Neo, Yoshinori Takao, Yoichi Yamada, Masahiro Sasaki, Hidenori Mimura, "Graphene-oxide-semiconductor planar-type electron emission device and its applications ", 10th Japan-Korea Vacuum Nanoelectronics Symposium, Hachinohe, 2018/10 |
| 2018 | Oct. | 谷口日向、大家渓、中野武雄、長尾昌善、大崎壽、村上勝久, "大電力パルススパッタ法によるスピント型陰極作製における放電ガス(アルゴン、クリプトン)の効果", 電子情報通信学会電子デバイス研究会, 東京, 2018/10 |
| 2018 | Oct. | 古家遼, 村上勝久, 長尾昌善, 鷹尾祥典, "平面型グラフェン電子源の放出効率向上と 大電流化に向けた取り組み", 第62回宇宙科学技術連合講演会, 福岡, 2018/10 |
| 2018 | Oct. | 井上直樹, 長尾昌善, 村上勝久, Khumpuang Sommawan, 原史朗, 鷹尾祥典, "高密度エミッタアレイを有するエレクトロスプレースラスタのイオン引き出し実験", 第62回宇宙科学技術連合講演会, 福岡, 2018/10 |
| 2018 | Sep. | 新谷英世, 村田英一, 池田貴大, 六田英治, 下山宏, 長尾昌善, 村上勝久, "ボルケーノ構造スピント型エミッタアレイ中の動作エミッタ数の向上", 電気・電子・情報関連学会東海支部連合大会, 名古屋, 2018/9 |
| 2018 | Sep. | Yongxun Liu, Kazushige Sato, Hiroyuki Tanaka, Kazuhiro Koga, Sommawan Khumpuang, Masayoshi Nagao, Takashi Matsukawa, and Shiro Hara, "RTA-Temperature Dependence of Electrical Characteristics of PVD-TiN Metal Gate SOI-MOSFETs Fabricated on Half-Inch Minimal Wafers", International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM), Tokyo, 2018/9. |
| 2018 | Sep. | 柳 永勛, 田中 宏幸, 古賀 和博, クンフ゜アン ソマワン，長尾 昌善，松川 貴, 原 史朗, "ミニマルファブを活用したCMOS-MEMS融合デバイスの開発", 第79回応用物理学会秋期学術講演会, 名古屋, 2018/9 |
| 2018 | Sep. | 新谷英世、村田英一、六田英治、下山宏、長尾昌善、村上勝久, "ボルケーノ構造スピント型エミッタアレイ中の動作チップ数の改善 ", 第79回応用物理学会秋期学術講演会, 名古屋, 2018/9 |
| 2018 | Sep. | 石原浩行, 若家冨士男, 村上勝久, 長尾昌善, 宮戸祐治, 山下隼人, 阿保智, 阿部真之, "原子間力顕微鏡法における薄膜破壊プロセスの解析 ", 第79回応用物理学会秋期学術講演会, 名古屋, 2018/9 |
| 2018 | July invited |
Katsuhisa Murakami, Joji Miyaji, Ryo Furuya, Manabu Adachi, Masayoshi Nagao, Yoshihiro Nemoto, Masaki Takeguchi, Yoichiro Neo, Yoshinori Takao, Yoichi Yamada, Masahiro Sasaki, Hidenori Mimura, "Graphene-oxide-semiconductor planar-type electron emission device and its applications", 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC2018), Kyoto, 2018/7 |
| 2018 | July invited |
Tomoaki Masuzawa, Yoichiro Neo, Hidenori Mimura, Yasuhito Gotoh, Masayoshi Nagao, Tamotsu Okamoto, Tomoya Igari, Masafumi Akiyoshi, Nobuhiro Sato, Ikuji Takagi, "Recent progress in developement of radiation tolerant image sensor with field emitter array", 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC2018), Kyoto, 2018/7 |
| 2018 | July 受賞 |
Ryo Furuya, Katsuhisa Murakami, Masayoshi Nagao, Yoshinori Takao, "Improvement of electron emission efficiency of Graphene-Oxide-Semiconductor planar-type electron sources for nanosatellite neutralizers", 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC2018), Kyoto, 2018/7 |
| 2018 | July | Hidekazu Murata, Hidetoshi Shinya, Takahiro Ikeda, Koudai Taguchi, Eiji Rokuta, Hiroshi Shimoyama, Masayoshi Nagao, Katsuhisa Murakami, "Improvement of a number of active tips and emission measurement from individual tips in volcano-structured Spindt-type field emitter arrays", 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC2018), Kyoto, 2018/7 |
| 2018 | July | Naoki Inoue, Masayoshi Nagao, Katsuhisa Murakami, Sommawan Khumpuang, Shiro Hara, Yoshinori Takao,"Fabrication of electrospray thrusters with a high-density emitter array utilizing Minimal-Fab System", 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC2018), Kyoto, 2018/7 |
| 2018 | July | Teruyuki Morito, Yusuke Handa, Yasuhito Gotoh, Masayoshi Nagao, Nobuhiro Sato, Masafumi Akiyoshi, Ikuji Takagi ,Tamotsu Okamoto, "Operation of field emitter arrays under high dose rate gamma-ray irradiation", 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC2018), Kyoto, 2018/7 |
| 2018 | July | Joji Miyaji, Katsuhisa Murakami, Masayoshi Nagao, Yoichiro Neo, Hidenori Mimura, "Evaluation of electron emission properties of graphene-oxide-silicon planar type cold cathode for an electron microscope", 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC2018), Kyoto, 2018/7 |
| 2018 | July | Masayoshi Nagao, Katsuhisa Murakami, Sommawan Khumpuang, Shiro Hara, Yasuhito Gotoh, Yoichiro Neo, Hidenori Mimura, "Fabrication of volcano structured Spindt-type field emitter arrays using Minimal Fab system, 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC2018), Kyoto, 2018/7 |
| 2018 | July | Hyuga Taniguchi, Takeo Nakano, Kei Oya, Masayoshi Nagao, Hisashi Ohsaki, Katsuhisa Murakami, "Fabrication of Spindt-type emitter cathodeusing HPPMS process with Krypton gas for reduction of compressive stress", 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC2018), Kyoto, 2018/7 |
| 2018 | May | W. Zhang, M. Takahashi, S. Sakai, "Direct Observations of Grains with Crystal Orientations of Ferroelectric Films in Pt/CSBT/HAO/Si FeFETs", ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference (IFAAP 2018), Hiroshima, 2018/5 |
| 2018 | May | M. Takahashi, "High-Endurance Ferroelectric NOR Flash Memory Using (Ca,Sr)Bi2Ta2O9 FeFETs", 10th International memory Workshop, Kyoto, 2018/5 |
| 2018 | Mar. | 森江隆、原田將敬、高橋光恵、酒井滋樹、”ニューロモルフィックハードウェアのためのFeFETアナログメモリ”、第65回応用物理学会春季学術講演会、東京、2018/3 |
| 2018 | Mar. | 柳永勛、佐藤和重、田中宏幸、古賀和博、クンプアンソマワン、長尾昌善、松川貴、原史朗、” ケ゛ートファーストフ゜ロセスによるサフ゛ミクロンケ゛ートミニマル SOI-CMOS 作製”第65回応用物理学会春季学術講演会、東京、2018/3 |
| 2018 | Mar. | 田口広大、新谷英世、村田英一、六田英治、下山宏、長尾昌善、村上勝久、”ボルケーノ構造スピント型エミッタの動作チップ数の改善およびその放出電流の測定”、第65回応用物理学会春季学術講演会、東京、2018/3 |
| 2018 | Mar. invited |
鷹尾祥典、井上直樹、江本一磨、山田涼平、土屋智由、長尾昌善、村上勝久、”電子源技術を使った超小型宇宙推進機の開発”、第65回応用物理学会春季学術講演会、東京2018/3 |
| 2018 | Mar. invited |
村上勝久、宮路丈司、古家遼、安達学、飯島拓也、長尾昌善、根本善弘、竹口雅樹、鷹尾祥典、山田洋一、佐々木正洋、根尾陽一郎、三村秀典、”低真空・低電圧で動作するグラフェンを用いた高効率平面型電子源”、第65回応用物理学会春季学術講演会、東京、2018/3 |
| 2018 | Mar. | 後藤康仁、森藤瑛之、長尾昌善、増澤智昭、根尾陽一郎、三村秀典、岡本保、猪狩朋也、秋吉優史、佐藤信浩、髙木郁二、”フィールドエミッタアレイと光電変換膜を用いた撮像素子の耐放射線性能”、第65回応用物理学会春季学術講演会、東京、2018/3 |
| 2018 | Mar. | 古家遼、村上勝久、長尾昌善、鷹尾祥典、”超小型イオンエンジン用高効率平面型グラフェン電子源の開発”、第65回応用物理学会春季学術講演会、東京、2018/3 |
| 2018 | Mar. | 宮路丈司、村上勝久、長尾昌善、根尾陽一郎、三村秀典、”SEM搭載電子源としてのGOS型電界電子放出陰極”、第65回応用物理学会春季学術講演会、東京、2018/3 |
| 2018 | Mar. | 長尾昌善、村上勝久、後藤康仁、根尾陽一郎、三村秀典、”マトリクス駆動とビーム集束を実現するボルケーノ構造ダブルゲートスピント型電子源”、第65回応用物理学会春季学術講演会、東京、2018/3 |
| 2017 | Dec. | Y. X. Liu, H. Tanaka, N. Umeyama, K. Koga, S. Khumpuang, M. Nagao, T. Matsukawa, and S. Hara, "Fabrication and Characterization of Fully Depleted SOI MOSFETs on Ultrathin Circular Diaphragms Using Cost-effective Minimal-Fab Process", 2nd Electron Devices Technology and Manufacuring Conference, Kobe, 2018/3 |
| 2018 | Jan. | 古家遼、村上勝久、長尾昌善、鷹尾祥典、”高放出効率を目指した平面型グラフェン電子源の試作”、宇宙輸送シンポジウム 、相模原、2018/1 |
| 2017 | Dec. | 猪狩朋也、福井貴大、岡本保、後藤康仁、長尾昌善、根尾陽一郎、三村秀典、秋吉優史、佐藤信浩、髙木郁二、”耐放射線性FEA撮像素子用CdTe系光電変換膜の開発”、第9回半導体材料・デバイスフォーラム、都城、2017/12 |
| 2017 | Dec. | 後藤康仁、森藤瑛之、長尾昌善、増澤智昭、根尾陽一郎、三村秀典、岡本保、猪狩朋也、秋吉優史、佐藤信浩、髙木郁二、”耐放射線FEA撮像素子の開発（II）～放射線照射下におけるFEAの動作特性～ ”、SP技術部会第156回定例研究会、東京、2017/12 |
| 2017 | Dec. | 谷口日向、中野武雄、大家渓、長尾昌善、大崎壽、村上勝久、”HPPMSを用いたSpindt型エミッタの作製におけるキャビティの穴径依存性”、SP技術部会第156回定例研究会、東京、2017/12 |
| 2017 | Nov. | T. Masuzawa, Y. Neo, H. Mimura, T. Okamoto, M. Nagao, M. Akiyoshi, N. Sato, I. Takagi, Y. Gotoh, "Development of a radiation tolerant compact image sensor using CdTe based photodiode and field emitter array", 19th Takayanagi Kenjiro Memorial Symposium, Hamamatsu, 2017/11 |
| 2017 | Nov. invited |
K. Murakami, M. Nagao, "Graphene-oxide-semiconductor planar type electron emission device", Korea-Japan Vacuum Nanoelectronics Symposium, Asan, Korea, 2017/11 |
| 2017 | Nov. invited |
M. Nagao, N. Inoue, Y. Takao, K. Murakami, "High-density electrospray thruster using FEA fabrication technique", Korea-Japan Vacuum Nanoelectronics Symposium, Asan, Korea, 2017/11 |
| 2017 | Nov. | 森藤瑛之、辻博司、長尾昌善、秋吉優史、髙木郁二、後藤康仁、"X線照射下のけるフィールドエミッタアレイの電界放出”応用物理学会関西支部第2回講演会、京都、2017/11 |
| 2017 | Nov. | Y.X. Liu, H. Tanaka, N. Umeyama, S. Khumpuang, M. Nagao, T. Matsukawa, S. Hara, "Investigation of Piezoresistive Effect in PMOSFETs Fabricated on Circular SOI Diaphragms Using Minimal ICP-RIE and Mask Aligner", International Microprocess and Nanotechnology Conference, Jeju, Korea, 2017/11 |
| 2017 | Oct. | 村上勝久、古家遼、飯島拓也、長尾昌善、根本善弘、竹口雅樹、鷹尾祥典、山田洋一、佐々木正洋、”グラフェンを用いた低真空・低電圧で動作可能な高効率平面型電子放出デバイス ”、電子情報通信学会電子デバイス研究会、仙台、2017/10 |
| 2017 | Oct. | 村上勝久、長尾昌善、井上直樹、鷹尾祥典、クンプアンソマワン、原史朗、”微小電子源の作製技術を利用した超小型エレクトロスプレースラスタの試作”、電子情報通信学会電子デバイス研究会、仙台、2017/10 |
| 2017 | Oct. | 森藤瑛之、辻博司、長尾昌善、秋吉優史、髙木郁二、後藤康仁、”高線量率のX線照射下におけるフィールドエミッタアレイの動作”、電子情報通信学会電子デバイス研究会、仙台、2017/10 |
| 2017 | Oct. | 田口広大、村田英一、六田英治、下山宏、長尾昌善、村上勝久、"マルチエミッタ評価装置によるボルケーノ構造スピント型エミッタの動作チップの放出電流測定", 電子情報通信学会電子デバイス研究会、仙台、2017/10 |
| 2017 | Oct. | 嶋脇秀隆、長尾昌善、根尾陽一郎、三村秀典、高井幹夫、"シリコンフィールドエミッタアレイからのレーザー支援電界電子放射特性”, 電子情報通信学会電子デバイス研究会、仙台、2017/10 |
| 2017 | Oct. | Y. Takao, K. Nakagawa, N. Inoue, K. Emoto, T. Tsuchiya, M. Nagao, "Microfabrication of a Massive Emitter Array for Higher Thrust Density of Ionic Liquid Electrospray Thrusters", 35th International Electric Propulsion Conference, Atlanta, USA, 2017/10. |
| 2017 | Sep. | T. Nakano, K. Oya, M. Nagao, H. Ohsaki, "Fabrication of Mo microcones for vacuum electron emitters using HPPMS", 11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, Jeju, Korea, 2017/9 |
| 2017 | Sep. | 長尾昌善、井上直樹、鷹尾祥典、辰巳憲之、村上勝久、クンプアンソマワン、原史朗、”ミニマルファブを用いたエレクトロスプレースラスタの試作"、第78回応用物理学会秋期学術講演会、福岡、2017/9 |
| 2017 | Sep. | 柳永勛、田中宏幸、梅山規男、クンプアンソマワン、長尾昌善、松川貴、原史朗、”ミニマル深掘りエッチャーとマスクアライナーによる微細なＳＯＩダイヤフラム構造の作製 ”、第78回応用物理学会秋期学術講演会、福岡、2017/9 |
| 2017 | Sep. | 田口広大、村田英一、六田英治、下山宏、長尾昌善、村上勝久、”マルチエミッタ評価装置によるボルケーノ構造スピント型エミッタの個々の動作チップの放出電流測定”、第78回応用物理学会秋期学術講演会、福岡、2017/9 |
| 2017 | Sep. | 森藤瑛之、辻博司、長尾昌善、秋吉優史、髙木郁二、後藤康仁、”高線量率のX線照射下におけるフィールト゛エミッタアレイの連続動作”、第78回応用物理学会秋期学術講演会、福岡、2017/9 |
| 2017 | Aug. | 谷口日向、中野武雄、大家渓、長尾昌善、大崎壽、村上勝久、”プラズマ電位を制御したHPPMSによるSpindt型エミッタの作製(3) ”、真空・表面科学連合講演会、横浜、2017/8 |
| 2017 | Jul. | M. Nagao, K. Murakami, Y. Gotoh, Y. Neo, H. Mimura, ”Process technology for volcano-structured double-gate Spindt-type field emitter arrays ”, 30th International Vacuum Nanoelectronics Conference, Regensburg, Germany, 2017/7 |
| 2017 | Jul. | K. Murakami, T. Iijima, M. Nagao, Y. Nemoto, M. Takeguchi, Y. Yamada, M. Sasaki, ”Annealing effect on electron emission properties of graphene-oxide-semiconductor planar-type electron emission devices”, 30th International Vacuum Nanoelectronics Conference, Regensburg, Germany, 2017/7 |
| 2017 | Jul. | Y. Gotoh, T. Morito, H. Tsuji, M. Nagao, M. Akiyoshi, I. Takagi, ”Robustness of Field Emitter Arrays against High-Energy X-ray Irradiation at High Dose Rate ”, 30th International Vacuum Nanoelectronics Conference, Regensburg, Germany, 2017/7 |
| 2017 | Apr. | 井上直樹、長尾昌善、鷹尾祥典、”電界放出電子源の製作技術を利用した高密度実装エレクトロスプレースラスタの試作”、日本航空宇宙学会、東京、2017/4 |
| 2017 | Mar. | 柳永勛、古賀和博、クンプアンソマワン、長尾昌善、松川貴、原史朗、”スピンオンドーパント固相拡散によるミニマルSOI-CMOS作製 ”、第64回応用物理学会春季学術講演会、横浜、2017/3 |
| 2017 | Mar. | 飯島拓也、田中駿丞、長尾昌善、根本善弘、竹口雅樹、山田洋一、佐々木正洋、藤田淳一、村上勝久、”GOS(Graphen-Oxide-Semiconductor)型電子源の電子放出特性”、第６４回応用物理学会春季学術講演会、横浜、2017/3 |
| 2017 | Mar. | 田口広大、中野美香、村田英一、六田英治、長尾昌善、村上勝久、”マルチエミッタ評価装置によるボルケーノ構造スピント型エミッタの放出電流の測定”、第６４回応用物理学会春季学術講演会、横浜、2017/3 |
| 2017 | Mar. | 成田智基、谷口日向、中野武雄、長尾昌善、村上勝久、大崎壽、”三極型大電力パスススパッタを用いたスピント型冷陰極の作製 ”、第64回応用物理学会春季学術講演会、横浜、2017/3 |
| 2017 | Mar. | 木村光祐、磯村航、大家渓、中野武雄、長尾昌善、大崎壽、”反応性スパッタのモード遷移現象におけるAr圧力·Ar流量·排気速度の効果”、表面技術協会第135回講演大会、川越、2017/3 |
| 2017 | Mar. | 村上勝久、田中駿丞、飯島拓也、長尾昌善、根本善弘、竹口雅樹、山田洋一、佐々木正洋、藤田淳一、"金属蒸気触媒CVDによるグラフェンの絶縁基板常直接合性とデバイス応用", 共用·計測合同シンポジウム2017、つくば、2017/3 |
| 2017 | Mar. | 中川洋人、江本一磨、井上直樹、土屋智由、長尾昌善、鷹尾祥典、”イオン液体を使ったエレクトロスプレースラスタにおけるビーム抽出実験と数値解析”、第57回航空原動機·宇宙推進講演会、那覇、2017/3 |
| 2017 | Mar. Invited | 村上勝久、田中駿丞、飯島拓也、長尾昌善、根本善弘、竹口雅樹、山田洋一、藤田淳一、"グラフェンを用いた低真空·低電圧で動作可能な高効率平面が多電子放出素子”第１４回真空ナノエレクトロニクスシンポジウム、浜松、2017/3 |
| 2017 | Mar. Invited | 鷹尾祥典、小泉宏之、土屋智由、長尾昌善、”イオンビームと電子源を利用した超小型衛星用電気推進機の実用例とその課題 ”、第14回真空ナノエレクトロニクスシンポジウム、横浜、2017/3 |
| 2017 | Mar. Invited | 増澤智昭、根尾陽一郎、三村秀典、猪狩朋也、岡本保、長尾昌善、秋吉優史、佐藤信浩、後藤康仁、”耐放射線撮像素子のための光電変換膜作製と評価 ”、第14回真空ナノエレクトロニクスシンポジウム、浜松、2017/3 |
| 2017 | Mar. Invited | 後藤康仁、辻博司、長尾昌善、増澤智昭、根尾陽一郎、三村秀典、猪狩朋也、岡本保、秋吉優史、佐藤信浩、髙木郁二、”フィールドエミッタアレイとCdTe系光電変換膜を用いた小型撮像素子の耐放射線性能 "、第14回真空ナノエレクトロニクスシンポジウム、浜松、2017/3 |
| 2017 | Mar. Invited | 村田英一、田口広大、中野美香、六田英治、長尾昌善、村上勝久、”マルチエミッタ評価装置によるボルケーノ構造スピント型エミッタの放出電流の測定”、第14回真空ナノエレクトロニクスシンポジウム、浜松、2017/3 |
| 2017 | Mar. Invited | 長尾昌善、村上勝久、クンプアンソマワン、原史朗、"ボルケーノ構造ダブルゲートスピント型フィールドエミッタアレイの電子放出特性とミニマルファブによる試作例 ”、第14回真空ナノエレクトロニクスシンポジウム、浜松、2017/3 |
| 2017 | Mar. Invited | 本田悠葵、難波正和、宮川和典、久保田節、長尾昌善、根尾陽一郎、三村秀典、江上典文、”電界集束型冷陰極HARP撮像板（FEA-HARP）の開発”、第14回真空ナノエレクトロニクスシンポジウム、浜松、2017/3 |
| 2017 | Jan. | 中川洋人、井上直樹、土屋智由、長尾昌善、鷹尾祥典、”高密度化したエミッタチップを用いたエレクトロスプレースラスタの製作と電流特性計測 ”、宇宙輸送シンポジウム、相模原、2017/1 |
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