電子源開発拠点
カスタムデバイスグループでは、最近の電子源ニーズの高まりを受けて、電子源研究のためのファシリティーを増強中です。
・電子源試作専用のクリーンルーム、イエロールーム
・各種電子源評価装置


RIE | 3台 | メタル専用、シリコン専用、汎用 |
プラズマCVD | 1台 | TEOS-SiO2 |
インライン型スパッタ | 2台 | 3源、電極、窒化物・酸化物 |
超高真空スパッタ | 1台 | 3源、電極、窒化物 |
EB蒸着 | 1台 | スピント型エミッタ作製用 |
横型電気炉 | 2台 | 熱酸化、アニール |
グラフェンCVD | 4台 | グラフェン、BN成膜 |
FE-SEM | 1台 | 構造評価 最高倍率50万倍 |
Auコーター | 1台 | |
プラズアッシャー | 1台 | レジスト剥離など |
光干渉式膜厚計 | 1台 | 絶縁膜の膜厚測定など |
多波長エリプソメトリ | 1台 | 4波長 |
触針式段差計 | 1台 | 電極膜厚測定など |
ダイシングソー | 1台 | |
ウエハマウンター | 1台 | |
ウエハエキスパンダー | 1台 | |
超音波ボンダー | 1台 | アルミワイヤー/Auワイヤー |
プローバー | 1台 | |
ドラフト | 1台 | 酸・有機 |
光学顕微鏡 | 1台 |
ステッパ(露光機) | 1台 | g線 |
マスクレス露光機 | 1台 | i線 |
セミオートレジストコーター | 1台 | 2 inch~6 inch, 角基板対応 |
表面疎水化処理装置 | 1台 | HMDS処理 |
マニュアルコーター | 1台 | ミカサ |
LL式エミッション評価チャンバー | 1台 | ビームプロファイル評価装置付き |
加熱測定装置 | 1台 | 300℃以上 |
多目的評価装置 | 1台 | イオン液体スラスター他の評価 |
液中エミッション評価装置 | 1台 | ガスクロ付き |
PEEM/FEEM | 1台 | |
エミッションプロファイラ | 1台 | |
FIM | 1台 | |
エネルギー分析装置 | 1台 |
顕微ラマン | 1台 | |
AFM | 1台 | |
ハイソメーター | 1台 | 段差測定 |
4探針抵抗測定装置 | 2台 | マニュアル機+ロレスタ |
光学顕微鏡 | 1台 | |