> 電子源開発拠点
カスタムデバイスグループでは、最近の電子源ニーズの高まりを受けて、電子源研究のためのファシリティーを増強中です。
・電子源試作専用のクリーンルーム、イエロールーム
・各種電子源評価装置
| RIE | 3台 | メタル専用、シリコン専用、汎用 |
| プラズマCVD | 1台 | TEOS-SiO2 |
| インライン型スパッタ | 2台 | 3源、電極、窒化物・酸化物 |
| 超高真空スパッタ | 1台 | 3源、電極、窒化物 |
| EB蒸着 | 1台 | スピント型エミッタ作製用 |
| 横型電気炉 | 2台 | 熱酸化、アニール |
| グラフェンCVD | 4台 | グラフェン、BN成膜 |
| FE-SEM | 1台 | 構造評価 最高倍率50万倍 |
| Auコーター | 1台 | |
| プラズアッシャー | 1台 | レジスト剥離など |
| 光干渉式膜厚計 | 1台 | 絶縁膜の膜厚測定など |
| 多波長エリプソメトリ | 1台 | 4波長 |
| 触針式段差計 | 1台 | 電極膜厚測定など |
| ダイシングソー | 1台 | |
| ウエハマウンター | 1台 | |
| ウエハエキスパンダー | 1台 | |
| 超音波ボンダー | 1台 | アルミワイヤー/Auワイヤー |
| プローバー | 1台 | |
| ドラフト | 1台 | 酸・有機 |
| 光学顕微鏡 | 1台 |
| ステッパ（露光機） | 1台 | g線 |
| マスクレス露光機 | 1台 | i線 |
| セミオートレジストコーター | 1台 | 2 inch~6 inch, 角基板対応 |
| 表面疎水化処理装置 | 1台 | HMDS処理 |
| マニュアルコーター | 1台 | ミカサ |
| LL式エミッション評価チャンバー | 1台 | ビームプロファイル評価装置付き |
| 加熱測定装置 | 1台 | 300℃以上 |
| 多目的評価装置 | 1台 | イオン液体スラスター他の評価 |
| 液中エミッション評価装置 | 1台 | ガスクロ付き |
| PEEM/FEEM | 1台 | |
| エミッションプロファイラ | 1台 | |
| FIM | 1台 | |
| エネルギー分析装置 | 1台 |
| 顕微ラマン | 1台 | |
| AFM | 1台 | |
| ハイソメーター | 1台 | 段差測定 |
| 4探針抵抗測定装置 | 2台 | マニュアル機＋ロレスタ |
| 光学顕微鏡 | 1台 | |