ナノ棟CMOS研究施設
ナノ棟CMOS試作設備は、CMOS試作に必要な全ての装置を、効率的に集約し、共同研究施設として活用しています。
CMOS試作ラインを含む旧部門パンフレットはこちらからダウンロードください。
パンフレット（PDF 2.9MB)
設備概要（ナノ棟CMOS試作設備 150m2 2室）
写真1 ｇ線露光機
写真２ 電子顕微鏡（SEM)
写真３ 金属成膜装置
写真4 ポリSi CVD
写真5 RIE
CMOS試作工程：フィン型トランジスタを一例に
アクセス
国立研究開発法人 産業技術総合研究所 デバイス技術研究部門
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