Theme個別研究課題

走査型プローブ顕微鏡（SPM）におけるアコースティックエミッション(AE)の検出手法の開発

研究のキーワード

走査型プローブ顕微鏡（SPM）、アコースティックエミッション(AE)

研究の目的

石英、Cu、SUS、Al、プラスチップなどの材料を入手して、それらの表面硬さの違いに起因するSPMによるインデントの際のAE波の差異を観察しています。。AE信号をSPMのPZTスキャナのXY電極から取り出す技術の開発に着手し、さらに、SPM信号に重畳したAE信号を抽出する技術の開発にも着手しています。また低ノイズと低リーク電流を実現する配線技術の開発に着手しており、さらに固定電圧による揺らぎの発生しない粗動機構の開発を行いSPM測定に利用しています。

研究の成果

ナノスケールで従来技術では検出できなかった微小AE信号の検出を試みています。そのために、これまで検出できなかった微小AEを検出可能にするために、高倍率プリアンプを入手してその信号を詳細に解析することが出来ています。AE信号をSPMのPZTスキャナのXY電極から取り出す技術の開発に着手し、SPM信号に重畳したAE信号を抽出する技術の開発に成功しています。さらに、圧電体からのAE信号のリーク電流の原因の探索に着手し、さらに、固定電圧による揺らぎの発生しない粗動機構の開発に成功しています。