国立研究開発法人産業技術総合研究所製造技術研究部門

Tribology Groupトライボロジー研究グループ

摩擦摩耗試験機

摩擦と摩耗の試験機です。
摩擦摩耗試験にはいくつかの方式があり，調べる対象によって最適な方式を選ぶ必要があります。

スラストシリンダ式
摩擦摩耗試験機　EFM-3
- 一方向回転で，スラストシリンダ型の面接触試験とピンオンディスク型の点接触試験ができます。
- ドライ条件及びオイルバスによる潤滑条件の実験が可能です。
- すべり軸受材料の評価などに用いられています。
ブロックオンリング
摩擦試験機 LFW-I
- ⼀⽅向回転で，ブロックオンリング型の線接触及び⾯接触の試験がでドライ条件及びオイルバスによる潤滑条件の実験が可能です。
- エンジン油や変速機油などの評価に⽤いられています。
- 往復動で，ボールオンプレート型の点接触試験とシリンダオンプレート型の線接触試験ができます。
フレッチング
摩擦試験機 SRV 3
- ドライ条件，微量油量及びオイルバスによる潤滑条件の実験が可能です。
- 油及びグリースの潤滑特性や耐焼付き性などの評価に⽤いられています。
- コンピュータ制御で荷重と速度を変化させながら摩擦⼒を測定することができます。
- 往復動で，ピンオンプレート型の試験ができます。（ピンの先端がフラットであれば⾯接触，球⾯であれば点接触）
高速往復動摩擦試験機
- ドライ条件，微量油量（塗布）及びポンプを用いた連続滴下による潤滑条件の実験が可能です。
- ピストンリングやシリンダライナーなどの評価に用いられています。
高温摩擦試験機
- 往復動で，ピンオンプレート型の試験ができます。
- 金属製試料ホルダーを高周波誘導加熱で加熱する方式のため，金属，セラミックス，樹脂系いずれの試験片にも対応可能です
軽荷重摩擦⼒分布測定装
- 軽荷重（～98mN）のピンオンプレート法で往復動摩擦測定・摩擦分布測定の試験ができます。
ピンオンディスク型摩擦摩耗
試験機（Friction Player）
- 同一周回転，円周上往復摺動・直線往復摺動の摩擦摩耗試験ができます。
- 液中・加熱測定が可能です。

軸受試験機

軸受の疲労試験，寿命試験の装置です。

学振形玉軸受寿命試験機日本学術振興会転り軸受寿命第126委員会（現在は日本トライボロジー学会転がり軸受寿命研究会として活動）が開発した，国内ではデファクトスタンダード的な試験機です。供試軸受（ラジアル軸受）に荷重をかけて一定速度で回転させ，寿命試験（疲労試験）を行います。本試験機で取得された寿命データなどの研究成果は，上記の委員会及び研究会がまとめた報告書，論文及び解説記事などによって広く一般に公開されております。
複数ラジアル
転がり軸受寿命試験機複数の供試軸受（ラジアル軸受）に荷重をかけて一定速度で回転させ，寿命試験（疲労試験）を行います。汎用性の高いラジアル軸受を対象とするため，異常診断技術を開発するプラットフォームに向いています。
スラスト玉軸受寿命試験機供試軸受（スラスト軸受）に荷重をかけて一定速度で回転させ，寿命試験（疲労試験）を行います。スラスト軸受の構造上，全ての転動体に常に荷重がかかった状態で運転されるため，応力繰り返し数の影響が現れやすく，軌道輪材料や転動体材料の信頼性評価に向いています。

評価・試料作製装置

摩擦・摩耗・表面状態などの特性を測定・評価する装置、および、試料作製装置です。

非接触表面形状測定機
（Zygo NewView 5000）
- 走査型白色干渉法を用いた非接触表面形状測定機です。
- 簡便に表面粗さ，摩耗痕を観察することが可能です。
- 断面プロファイルを容易に測定できます。
走査型電子顕微鏡
（JSM-7400F）
- 二次電子像の他に組成像を取ることができ、元素分析（軽元素含む。面、線、点分析）も可能です。
- 倍率25 ～ 650,000倍、加速電圧0.1kV~30kV、分解能1nm。
走査型電子顕微鏡
（JSM-6060）
- 大きな試料室により大面積サンプルをそのまま観測できます。
- EDSを備え、各種元素の存在比を測定できます。
X線光電子分光装置
（ThetaProbe）
- 試料表面の構成元素とその化学状態を分析できます。
- 同時角度分解XPSスペクトルの取得ができます。
- 雰囲気制御可能な摩擦機構を備えたチャンバーにより、大気汚染の影響なしに摩擦試験前後での表面分析ができます。
放電プラズマ焼結機
- 最高使用温度2400℃。樹脂、金属、セラミックス、複合材料などの緻密あるいはポーラスなサンプルを作製することができます。

Advanced Functional Surface Group機能表面研究グループ

微細構造加工装置

3元RFマグネトロンスパッタリング装置(1号機)
3元RFマグネトロンスパッタリング装置(2号機)
EB蒸着装置
並行平板型リアクティブエッチング装置
磁気誘導型リアクティブエッチング装置
UVナノインプリントリソグラフィ装置
プロジェクションアライナー
両面アライナー
スピンコータ
スクリーン印刷機
着磁機
真空自転・公転ミキサー
無電界メッキ装置
電界メッキ装置
多層ディップコーティング装置
真空加熱炉
真空乾燥炉(1号機)
真空乾燥炉(2号機)
真空乾燥炉(3号機)
冷却炉

金属・樹脂加工装置

射出成形機
大面積ナノインプリント装置
切削加工機
工具ヤキバメ装置
2軸混連機
フィルム押出成形機
ペレタイザー
混合器(ミキサー)
樹脂乾燥機
粉砕器
計量混合器
CO2 レーザー加工機
熱圧着式接合装置
コロナ処理機
３Ｄプリンタ(1号機)
大型3Dプリンタ(2号機)
３Ｄプリンタ(3号機)

評価装置

エネルギー分散型X線分析装置（EDX）
大型紫外・可視分光光度計
走査型プローブ顕微鏡(AFM)
触針式表面形状装置(DEKTAK)
顕微フーリエ変換赤外分光光度計(FTIR)
示差走査熱量計（DSC）
熱重量測定(TGA)
レーザー顕微鏡
ミクロトーム
クロスセクションポリッシャ
接触角測定装置
摩擦力測定装置
高温加湿試験器
レンズ用顕微型・可視分光装置
顕微型分光装置
真空電子染色装置
オスミウムコータ
研磨機
着磁機
加振機
光学顕微鏡
実体顕微鏡
3Dイメージングタイプ実体顕微鏡
マイクロスコープ
光学評価装置(定盤など)

産総研が設計/製作した独自装置

UVナノインプリントリソグラフィ装置 UVナノインプリントを用いてナノリソグラフィーを行う装置です。弊所では、8インチウエハ表面にナノメータオーダのリソグラフィを行い、モールドを作製しています。
無電解メッキ装置断熱材や⾦型⾦属表⾯に光学レンズ⾦型⽤のニッケル厚メッキを⾏う電⾃動無電解メッキ装置です。弊所では、主に断熱⾦型や⼀般⾦型の表⾯に200-300μm厚の無電解ニッケルメッキ成膜を⾏い、光学レンズ駒の作製を⾏っています。
フィルム押出成形機 350mm幅の連続フィルムを形成する装置です。弊所では、２軸混連機や微細ナノ転写技術を融合し、材料と構造を組合せた表⾯⾼機能部材の研究開発を⾏っています。
熱溶着装置 350mm幅の連続フィルムを形成する装置です。弊所では、２軸混連機や微細ナノ転写技術を融合し、材料と構造を組合せた表⾯⾼機能部材の研究開発を⾏っています。
多層ディップコーティング装置複数の溶液を、予めプログラムされた通り⾃動で処理する装置です。弊所では、複数の溶液を⽤いてコーティング技術開発などに⽤いています。

ハイブリッドコーティング

多目的大型コーティング装置 2 m級の大型チャンバーに産業用ロボットを備える多目的コーティング装置です。三次元駆動型ハイブリッドAD装置からコールドスプレーまで対応可能です。
減圧プラズマ溶射装置減圧下で施工可能な40 kW級の直流プラズマ溶射装置です。
ハイブリッドAD装置（汎用）セラミックコーティングの試作のためのハイブリッドコーティング装置です。５軸ステージを備え、三次元形状物への施工が可能です。
ハイブリッドAD装置セラミックコーティングの試作のためのハイブリッドコーティング装置です。
SEM中ナノインデンター装置走査型電子顕微鏡中での微小機械特性評価が可能な試験です。