題目

インプロセス計測を組み込んだコンバーチブル・スパッタリングにおける炭素膜作製とAI解析

受賞者

廣瀬克来（東京電機大学）

連名者

横山裕紀（東京電機大学）
金杉和弥（東京電機大学）
平栗健二（東京電機大学）
江塚幸敏（産業技術総合研究所　製造技術研究部門）
廣瀬伸吾（産業技術総合研究所　製造技術研究部門）

受賞理由

優秀な講演(ポスター)を行った学生に対しての表彰