受賞講演

22C3-2 「原子時計の小型化に向けた回折格子の作製と等方性評価」

受賞者

製造技術研究部門　機能表面研究グループ　穂苅　遼平　

連名者

製造技術研究部門　機能表面研究グループ　レ ハクホウンツー

デバイス技術研究部門　集積化MEMS研究グループ　武井　亮平

デバイス技術研究部門　集積化MEMS研究グループ　日暮　栄治
（現　東北大学 大学院工学研究科 電子工学専攻 教授）