題目

Low-Temperature Graphene Growth by Forced Convection of Plasma-Excited Radicals

受賞者

電子光基礎技術研究部門　先進プラズマプロセスグループ　金載浩

製造技術研究部門　積層加工システム研究グループ　板垣宏知

電子光基礎技術研究部門　先進プラズマプロセスグループ研究グループ長　榊田創

受賞理由

上記の論文は優秀なものであり、プラズマエレクトロニクスの発展に寄与するところ極めて大であるため。