微細構造加工装置
- 3元RFマグネトロンスパッタリング装置(1号機)
- 3元RFマグネトロンスパッタリング装置(2号機)
- EB蒸着装置
- 並行平板型リアクティブエッチング装置
- 磁気誘導型リアクティブエッチング装置
- UVナノインプリントリソグラフィ装置
- プロジェクションアライナー
- 両面アライナー
- スピンコータ
- スクリーン印刷機
- 着磁機
- 真空自転・公転ミキサー
- 無電界メッキ装置
- 電界メッキ装置
- 電鋳メッキ装置
- 多層ディップコーティング装置
- 真空加熱炉
- 真空乾燥炉(1号機)
- 真空乾燥炉(2号機)
- 真空乾燥炉(3号機)
- 冷却炉
- 水蒸気型表面処理装置
金属・樹脂加工装置
- 射出成形機
- 大面積ナノインプリント装置
- 切削加工機
- 工具ヤキバメ装置
- 2軸混連機
- フィルム押出成形機
- ペレタイザー
- 混合器(ミキサー)
- 樹脂乾燥機
- 粉砕器
- 計量混合器
- CO2 レーザー加工機
- 熱圧着式接合装置
- コロナ処理機
- ３Ｄプリンタ(1号機)
- 大型3Dプリンタ(2号機)
- ３Ｄプリンタ(3号機)
- 超音波溶着装置
評価装置
- エネルギー分散型X線分析装置（EDX）
- 大型紫外・可視分光光度計(1号機)
- 大型紫外・可視分光光度計(2号機)
- 走査型プローブ顕微鏡(AFM)
- 触針式表面形状装置(DEKTAK)
- 顕微フーリエ変換赤外分光光度計(FTIR)
- 示差走査熱量計（DSC）
- 熱重量測定(TGA)
- レーザー顕微鏡
- ミクロトーム
- クロスセクションポリッシャ
- 接触角測定装置
- 摩擦力測定装置
- 高温加湿試験器
- レンズ用顕微型・可視分光装置
- 顕微型分光装置
- 真空電子染色装置
- オスミウムコータ
- 研磨機
- 着磁機
- 加振機
- 光学顕微鏡
- 実体顕微鏡
- 3Dイメージングタイプ実体顕微鏡
- マイクロスコープ
- 光学評価装置(定盤など)
- ヘイズメーター
- 分光測色計
- 顕微型分光装置
産総研が設計/製作した独自装置
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UVナノインプリントリソグラフィ装置
UVナノインプリントを用いてナノリソグラフィーを行う装置で す。弊所では、8インチウエハ表面にナノメータオーダのリソグラフィを行い、モールドを作製しています。
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無電解メッキ装置
断熱材や⾦型⾦属表⾯に光学レンズ⾦型⽤のニッケル厚メッキを⾏う電⾃動無電解メッキ装置です。弊所では、主に断熱⾦型や⼀般⾦型の表⾯に200-300μm厚の無電解ニッケルメッキ成膜を⾏い、光学レンズ駒の作製を⾏っています。
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フィルム押出成形機
350mm幅の連続フィルムを形成する装置です。弊所では、２軸混連機や微細ナノ転写技術を融合し、材料と構造を組合せた表⾯⾼機能部材の研究開発を⾏っています。
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熱溶着装置
350mm幅の連続フィルムを形成する装置です。弊所では、２軸混連機や微細ナノ転写技術を融合し、材料と構造を組合せた表⾯⾼機能部材の研究開発を⾏っています。
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多層ディップコーティング装置
複数の溶液を、予めプログラムされた通り⾃動で処理する装置です。弊所では、複数の溶液を⽤いてコーティング技術開発などに⽤いています。
ハイブリッドコーティング
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多目的大型コーティング装置
2 m級の大型チャンバーに産業用ロボットを備える多目的コーティング装置です。三次元駆動型ハイブリッドAD装置からコールドスプレーまで対応可能です。
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減圧プラズマ溶射装置
減圧下で施工可能な40 kW級の直流プラズマ溶射装置です。
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ハイブリッドAD装置（汎用）
セラミックコーティングの試作のためのハイブリッドコーティング装置です。５軸ステージを備え、三次元形状物への施工が可能です。
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ハイブリッドAD装置
セラミックコーティングの試作のためのハイブリッドコーティング装置です。
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SEM中ナノインデンター装置
走査型電子顕微鏡中での微小機械特性評価が可能な試験です。
