Equipments装置紹介

次世代通信

  • 高周波電気特性評価装置 高周波（１~40GHz)における誘電率、誘電正接、電導度を評価する装置

製膜・物性評価

  • 製膜用ランプ光源 連続光源によるコーティング膜形成装置
  • エキシマレーザー エキシマレーザー光を用いるセラミックス膜形成
  • ホール係数測定装置（77K～473K) 電子材料・電子部品の抵抗率、キャリア濃度、移動度を評価する装置
  • 仕事関数測定装置 電子材料・電子部品の抵抗率、キャリア濃度、移動度を評価する装置

構造・信頼性評価

  • X線回折装置 薄膜用X線回折装置
  • 温度サイクル試験装置 -55～300℃の温度変化に伴う材料・部材の熱衝撃による加速劣化・及び信頼性評価を行う装置